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108auto SE离子溅射仪

Cressington 108auto  SE离子溅射仪基于108auto 离子溅射仪。它具有108auto的所有优点,但具有更大的Ø150x165mm玻璃腔和目标前方的额外挡板。此外,108auto / SE可配备可选的旋转倾斜(RT)样品台或可选的旋转 – 行星 – 倾斜(RPT)样品台。

描述

Cressington 108auto  SE离子溅射仪基于108auto 离子溅射仪。它具有108auto的所有优点,但具有更大的Ø150x165mm玻璃腔和目标前方的额外挡板。此外,108auto / SE可配备可选的旋转倾斜(RT)样品台或可选的旋转 – 行星 – 倾斜(RPT)样品台。

108 Auto SE是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。

主要特性

一、自动的换气与泄气功能,可以得到一致的膜厚,和最佳的导电喷镀效果。

二、通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。

三、操作容易快捷,可全自动或手动进行喷镀操作,控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。

四、在自动模式下,可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果,

五、通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪(选件)在达到设定膜厚时停止喷镀过程。

六、可用MTM-20高分辨膜厚控制仪(选件)手动停止喷镀过程。

七、数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。

八、可使用多种金属靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶为标配),靶材更换快速方便。

技术参数
溅射系统
样品室大小
直径150mm x 165mm 高 (4.75 x 4.75″)
高度可变165mm-250mm
靶材
Au 靶为标配, Au:Pd, Pt, Pt:Pd (选件);大小:直径57mm x 0.1mm厚
样品台
可以装载12个SEM样品座,高度可调范围为60mm
溅射控制
微处理器控制,安全互锁,可调,最大电流40mA,程序化数字控制
溅射头
低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩
模拟计量
真空: Atm – 0.001mbar,电流:0-50mA
厚度监控
(
选件)
使用MTM-20高分辨厚度控制仪(选件)自动终止溅射过程,或使用MTM-10高分辨厚度监控仪(选件)手动终止溅射过程
控制方法
自动气体换气和泄气功能,自动处理排序,带有“暂停”控制的数字定时器(0-300s),自动放气
真空系统
真空泵
2级直连式高速真空泵
抽气速率
3.0 m3/小时 ,真空度到 0.1mb所需时间30秒
桌上系统
真空泵可置于抗震台上,全金属集成耦合系统
可选附件:
一、膜厚测控仪
膜厚控制仪MTM-20
性能
基于微处理器,4位数字显示,复位按钮, 6MHz晶体(具有寿命检查功能),5次/s的更新速率
膜厚范围
0.0 – 999.9nm
分辨率
优于 0.1nm
密度范围
0.50 – 30.00gm/cm3
修正系数范围
0.25 – 8.00
镀膜终止范围
膜厚0 – 999.9nm
二、R-P-TRotary-Planetary-Tilting)样品台

样品台可旋转,可倾斜,适合多角度样品。

108auto离子溅射仪配置旋转样品台的使用视频

 

关于108auto SE离子溅射仪