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108C Auto/SE镀碳仪

108carbon SE镀碳仪基于108c镀碳仪。它包含108c的所有优点,但有更大的Ø150x165mm样品室,可以放置更大或更多的样品。108C SE是用于扫描电镜能谱分析的先进的镀碳仪之一。

描述

 

108carbon SE镀碳仪基于108c镀碳仪。它包含108c的所有优点,但有更大的Ø150x165mm样品室,可以放置更大或更多的样品。108C Auto/SE是用于扫描电镜能谱分析的先进的镀碳仪之一。

主要特性

  • 独特的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚大约20nm左右进行多次蒸发,无须切削或调整碳棒形状。
  • 108C Auto/SE中使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。该镀膜系统结构紧凑,容易操作,抽真空周期短。选件MTM-10高分辨膜厚监控仪可以精确地得到所需的碳膜厚度。
  • 使用新型的蒸发装置:电流和电压通过磁控头的传感线监控,蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低,碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源可以通过脉冲或连续的方式操作。
  • 可选择手动或自动方式操作。
  • 自动模式下,蒸发源按程序设定的电压和时间进行喷镀。手动模式下,独特的设计允许以脉冲或连续的方式操作,并通过旋钮控制输出电压。
  • 可配备MTM-10高分辨膜厚监控仪(选件)。分辨率优于0.1nm。在15nm至25nm的碳膜厚度范围内,重现性可优于5%。
技术参数
样品室大小直径150 x 165mm 高
蒸发源Bradley型 (6.15mm rods),高强度不锈钢结构
蒸发控制基于微处理器的反馈回路控制,能够进行远程电流/电压感应,基于真空水平变量的安全互锁功能,最大电流180A,提供过流保护
样品台可装置12个样品座,高度在30mm范围内可调
模拟计量真空: atmos – 0.001mb; 电流: 0-200A
厚度监控MTM-10 高分辨膜厚监控仪(选件)
控制方法自动蒸发控制,使用程序设定的电压和时间

以脉冲或连续方式进行完全手动控制

数字定时器(0-10s)

数字电压设置(0.1 to 6.0V)

真空系统
真空泵2级直连式高速真空泵
抽气速率真空度到 0.1mb所需时间30秒.
极限真空5 x 10-3mba
桌上系统真空泵可置于抗震台上,全金属集成耦合系统

关于108C Auto/SE镀碳仪