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EMS 150RES Plus镀膜仪

EMS 150R S Plus – 紧凑型机械泵溅射仪,适合非氧化金属

EMS 150R E Plus– 紧凑型机械泵镀碳仪

EMS 150R ES Plus–集成了离子溅射和碳蒸镀两种沉积功能的紧凑型机械泵镀膜仪

EMS 150R S Plus – 紧凑型机械泵溅射仪,适合非氧化金属

EMS 150R E Plus– 紧凑型机械泵镀碳仪

EMS 150R ES Plus–集成了离子溅射和碳蒸镀两种沉积功能的紧凑型机械泵镀膜仪

新款改进

● 触摸屏更换成便于操作的电容触摸屏

● 固件更新,新版操作界面类似安卓系统,便于客户上手

● 新的彩色LED可视状态指示灯

● USB接口可以用于固件更新,并可将镀膜方案文件备份/复制到USB存储设备

● 可以通过USB端口以.csv格式导出过程日志文件,以便统计分析

 

技术参数

仪器尺寸 585mm W x 470mm   D x 410mm H (打开镀膜头时总高 650mm)
重量 28.4kg
包装尺寸 725mm W x 660mm   D x 680mm H (36.8kg)
工作腔 硼硅酸盐玻璃,152mm Ø (内) x 127mm   H
安全钟罩 PET材质
显示 145mm 320 x 240 彩色图形TFT (Thin Film Transistor)显示
用户界面 直观全图形界面,触摸屏控制
溅射头 标配 57mm Ø、0.1mm厚金靶(Q150R S,Q150R ES)
样品台 50mm Ø旋转样品台,带6个15mm、10mm、6.5mm或1/8”钉形样品座孔,旋转速度8-20 rpm

真空

机械泵 Edwards RV3 50L/s双程机械泵
真空测量 标配Pirani规
极限真空 2 x 10-2mbar
工作真空 3 x 10-2 mbar与5 x   10-1mbar之间

操作过程

溅射 0-80mA,最大溅射时间60 min
碳蒸镀 电流脉冲:碳绳,1-60   A;1.4mm   Ø碳棒,1-90   A
辉光放电 0-80mA,DC+及DC-模式

其它

工作气体 Ar气,99.999%,N2为排放气体(选件)
电源 90-250V ~ 50/60 Hz 1400 VA
认证 CE

关于EMS 150RES Plus镀膜仪