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EMS 150TES Plus高真空蒸镀磁控离子溅射仪

MS150TES Plus为紧凑的分子涡轮泵镀膜系统,适合SEM、TEM及许多镀膜应用

描述

 

MS150TES Plus为紧凑的分子涡轮泵镀膜系统,适合SEM、TEM及许多镀膜应用

新款改进

● 触摸屏更换成便于操作的电容触摸屏

● 固件更新,新版操作界面类似安卓系统,便于客户上手

● 新的彩色LED可视状态指示灯

● 双核ARM处理器,可快速响应

● USB接口可以用于固件更新,并可将镀膜方案文件备份/复制到USB存储设备

● 可以通过USB端口以.csv格式导出过程日志文件,以便统计分析

主要特点

● 金属溅射或碳蒸发一体化设计,节省空间

● 适合FE-SEM制样的精细镀膜和薄膜应用

● 涡轮分子泵高真空系统,适合不氧化贵金属和易氧化其它金属靶材

● 全自动触摸屏控制,快速数据输入,操作简单

● 可储存多个客户自定义镀膜方案:对多用户实验室十分理想

● 预编程自动真空控制

● 使用膜厚监控选件精确控制膜厚

● 智能系统识别,自动感知用户所插入镀膜头的类型

● Drop-in式快速换样品台(标配旋转台)

● 真空闭锁功能,让工作腔室在待机使用时亦处于真空状态

● 不破坏真空条件下的溅射时间可长达60分钟,适合材料科研应用

● 人体工程学设计,整体成型机壳,维护、拆装容易

● 带有本地FTP服务器连接的以太网端口,程序更新简单

● 设有功率因素补偿,有效利用电能,降低运行成本

● CE认证

 

技术参数:  

● 工作腔室:150mm内径 x 127mm高

● 触摸屏全图像用户界面

● 样品台:标配旋转台

● 真空系统:

涡轮分子泵:带有空气冷却的涡轮分子泵

旋转机械泵:双程旋转机械泵

● 溅射电流:0-150mA;可预设膜厚或使用内置定时器

● 溅射时间:最长60分钟

● 金属蒸发/光阑清洁头:用于钨丝篮或金属热蒸发。

● 尺寸和重量:仪器机箱585mm宽x 470mm长 x 410mm高 (总高: 650mm)

● 仪器总重量:33.4Kg

关于EMS 150TES Plus高真空蒸镀磁控离子溅射仪