离子溅射仪的常见问题和故障排除

没有镀膜或镀膜很薄：

• • • 检查氩气传输管线和压力。
    • 确认靶材安装正确且未耗尽。
    • 确保靶材的电气连接良好。
    • 检查真空室的真空度。

镀膜不均匀：

• • • 确保样品旋转和/或倾斜功能正常。
    • 检查靶材到样品的距离。
    • 确认样品表面清洁无污染物。

样品过热：

• • • 降低溅射功率（电流或电压）。
    • 缩短溅射时间。
    • 确保磁控溅射头中的磁体功能正常（如果适用）。

镀膜后图像质量差（如仍存在充电现象）：

• • • 稍微增加镀膜厚度。
    • 使用导电胶带或胶水确保样品与样品台之间的良好电气接触。
    • 考虑使用导电性更高的其他镀膜材料。

靶材不溅射：

• • • 检查溅射头的高压电源。
    • 确保真空度合适。
    • 清洁靶材表面。

污染问题：

• • 彻底清洁溅射室。
  • 使用高纯度氩气。
  • 检查真空泵是否发生油反流。