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理化检验解决方案

竭诚为客户提供先进的射击残留物检验、微量油漆检验、纤维检验、火场助燃剂检验等理化检验解决方案,包括:各类理化实验室设计和建设、设备安装调试和维护、人员培训、案件检验服务、科研服务等。

部分产品展示


 

108镀金镀碳联用仪

特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜,同时又用于扫描电镜能谱分析。

一、主要特性

  • 通过1个真空泵相连,在既可以保证良好镀金镀碳效果的同时,又不会产生碳和金属的任何交叉污染
  • 通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。
  • 数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。
  • 可使用多种金属靶材:Pt, Au/Pd,Au,Pt/Pd(Au靶为标配),靶材更换快速方便。
  • 通过使用高分辨膜厚控制仪(选件)测量所镀膜厚。
  • 独特的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚20nm左右进行多次蒸发,无须切削或调整碳棒形状。
  • 使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。
  • 使用新型的蒸发装置:电流和电压通过磁控头的传感线监控,蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低,碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源可以通过脉冲或连续的方式操作。
  • 自动模式下,蒸发源按程序设定的电压和时间进行喷镀。手动模式下,独特的设计允许以脉冲或连续的方式操作,并通过旋钮控制输出电压。

二、技术参数

镀金系统

样品室大小

直径120mm x 120mm 高

靶材

Au靶为标配, Au:Pd, Pt, Pt:Pd (选件);直径57mm x 0.1mm厚

样品台

可以装载12个SEM样品座,高度可调范围为60mm

可选配旋转倾斜样品台,旋转速度:0~120rpm可调,倾斜角度:0~90°可调。旋转样品台具有单独腔体保护,可防污染。

溅射控制

微处理器控制,安全互锁,可调,最大电流50mA,程序化数字控制

溅射头

低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩

模拟计量

真空: Atm - 0.001mbar

电流:0—50mA

厚度监控
(选件)

使用高分辨厚度监控仪(选件)终止溅射过程

控制方法

带有“暂停”控制的数字定时器(0-300s)

桌上系统

真空泵可置于抗震台上,全金属集成耦合系统

镀碳系统

样品室大小

直径120 x 120mm 高

蒸发源

Bradley型 (6.15mm rods, [1/4"])
高强度不锈钢结构

蒸发控制

基于微处理器的反馈回路控制,能够进行远程电流/电压感应,基于真空水平变量的安全互锁功能,最大电流180A,提供过流保护

样品台

可装置12个样品座,高度在30mm范围内可调

模拟计量

真空: atmos - 0.001mb; 电流: 0-200A

控制方法

自动蒸发控制,使用程序设定的电压和时间

以脉冲或连续方式进行完全手动控制

数字定时器(0-9.9s)

数字电压设置(0.1 to 6.0V)

真空系统

真空泵

2级直连式高速真空泵

抽气速率

133L/MIN

噪音

56dB

极限真空

≤1 x 10-3 Torr