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关键尺寸扫描电镜(CD-SEM)技术解读

无论是实验室通用型还是用于集成电路结构和尺寸测量的专用设备,SEM的基本工作原理基本一致。SEM之所以得名,是因为它利用细聚焦的电子束,以精确的光栅扫描模式(通常为矩形或正方形)逐点扫描样品表面。

SEM的电子束来自电子源,通常在0.2千伏到30千伏的加速电压下运行。在半导体生产中,CD-SEM多在0.4千伏至1千伏的电压范围内工作。电子束沿镜筒向下,通过一个或多个电子光学聚光镜被缩小,其直径从几微米逐渐收缩到纳米量级。

在SEM中实现4D-STEM及其晶体学应用

作者:孙千 本文转载自公众号:老千和他的朋友们。原文地址:https://mp.weixin.qq.com/s/tp4Kp5kogCBN43bjx7JT0A 四维扫描透射电镜(4D-STEM)是一种通过聚焦电子束在电子透明样品上扫描,同时收集实空间和倒易空间的二维图像的技术。这种方法产生四维数据集,因此得名4D-STEM。 需要明确的是,这里的维度并不涉及时间;而是指所得四维数据集包含空间和衍射信息。具体来说,两个维度代表样品中的x和y坐标(实空间位置),而另外两个维度代表每个位置处的衍射图案中的kx和ky坐标(倒易空间)。...

环境扫描电镜(ESEM)成像技术解读

扫描电镜(SEM)自问世以来,已成为材料科学、生物学等领域不可或缺的研究工具。然而,常规扫描电镜(CSEM)在样品制备及成像方面存在明显局限:需要高真空环境、样品必须导电或经过导电处理(低电压成像可不镀导电膜),且必须处于干燥状态。这些限制极大地约束了其在某些领域的应用潜力,特别是对于湿态样品或绝缘材料的研究。

环境扫描电镜(ESEM)技术的出现,为克服这些限制提供了新的解决方案。

扫描电镜的分辨率和测量标准化问题讨论

扫描电子显微镜(SEM)的分辨率是其核心性能参数之一,传统定义是指能够区分两个相邻物体的最小距离,但该定义在实际场景中较为模糊,不同仪器制造商甚至采用不同的计算标准。这一概念可能指成像或空间分辨率,通常用来衡量样品细节的清晰度,例如微小间隙的分辨能力或图像的锐利程度——这与样品边缘信号转换的变化率密切相关。同时,它也可能指测量分辨率,即定量区分样品特征或测量特性的能力,强调测量精度/重复性。

透射电镜样品制备技术指南:材料科学篇

使用透射电镜(TEM)的第一步是样品制备,这步骤是确保获得有价值TEM结果的重中之重。制备的TEM样品一般需满足以下几个基本要求:

1. 保持样品的原始结构:尽量减少人工痕迹,即使引入也必须可识别;
2. 尽可能薄:样品厚度至少需小于100纳米,确保电子束能够穿透;
3. 具备物理支撑:以利于样品架的装载和取出;
4. 具备机械稳定性:避免因震动导致图像缺陷;
5. 样品需脱水或冷冻:以减轻在真空环境下的蒸气或气体释放;
6. 最好具有导电性:避免充电效应带来的损伤;
7. 表面需清洁:最大限度减少污染。

如何制备透射电镜(80-120kV)生物样品?

与干燥和浓缩的材料样品不同,大多数生物样品都是含水的或水合的,含有大量的水分。它们质地柔软,由H、C、N、O、S和P等轻元素组成,且不具有导电性。因此,生物样品的制备需要多个步骤才能获得TEM样品。生物样品通常包括颗粒样品以及细胞和组织样品。

各品牌离子溅射仪靶材尺寸表

环形溅射靶选型表 品牌 型号 尺寸 Anatech / Technics Hummer V / VI / 6.2 / 8 3” O.D. X 2” I.D Polaron / Biorad E5100 / E5150 / E5175 / SC510 / SC515 82mm O.D. X 60mm I.D Polaron / Quorum SC7640 / SC7680 82mm O.D. X 60mm I.D Polaron 镀膜仪也以 Bio-Rad、Fisons、VG Microtech、Thermo VG、Emscope...

2019年全国电子显微学学术年会在合肥成功举办

2019年10月16日,由中国电子显微镜学会主办的“2019年全国电子显微学学术年会”在合肥市丰大国际酒店盛大开幕。大会为期3天,10个分会场,吸引了来自大专院校、科研院所、企业等电子显微镜学领域专家学者一千多人出席,为中国电镜人带来一场学术盛宴。

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