半导体制样设备

Ted Pella在2021年收购了专业划片裂片设备生产厂商LatticeGear公司，把它旗下的划片裂片相关设备LatticeAx及FlipScribe等畅销设备并入了自己的产品线中，配合Ted Pella多年在相关领域的硬实力，现在Ted Pella能为众多半导体厂商及科研机构提供更专业的半导体制样服务。广州竞赢作为Ted Pella在中国的总代理，现在也能为客户提供专业的半导体制样解决方案。

LatticeAx系列划片机采用了容易控制的“解理切割”，使得切割过程更为精准，减少了切割误差。它不需要划线，是在晶圆表面用金刚石压头压一条长度小于1mm、宽度约10um的浅压痕，然后沿着压痕进行解理，这样不仅可以最大程度地保存样品的原始结构，还可以避免晶圆在切割过程中产生的不必要损伤。采用晶面解理方式，能够得到更为理想的切口，断面更光滑，有利于后续的观察和使用。

FlipScribe的划线器安装在背板，可以准确地从正面定位划线位置，消除了在划线过程中对敏感正面器件的污染，对晶体和无定形样品特别有价值。同时金刚石划线器的倾斜和高度是可调的，这是优化沿光刻与晶面制备样品的工艺的关键。