PELCO® FlexScribe晶圆划片机

PELCO® FlexScribe™（原LatticeGear™产品）是一种超快速、简单的划片机，通过在晶圆和样品表面划线来减小尺寸。采用的是一个安装在滑动划痕机构上的划线轮，这款系统被用于在各种材料上划线，包括玻璃片、盖片、硅、III-V族、蓝宝石和其他晶体和脆性材料，不受形状限制。有两个不同的型号，54340可以应对大小从5mm到200mm的各种样品——54342可以处理最大达到300mm的晶圆。

安装在PELCO® FlexScribe™上的碳化钨刀头非常适合处理包括硅、玻璃、砷化镓和其他晶体材料在内的各种样品。也可选择钻石刀头和深切划线轮。

依据具体应用推荐使用的压头如下：

#54346 碳化钨划痕轮，适用于一般用途。
#54343 钻石划痕轮，适用于非常薄的玻璃、钢化玻璃和像蓝宝石这样的硬质材料。
#54344 深切划线轮，适用于如厚玻璃或者离轴切割等应用场景。