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离子溅射仪

离子溅射仪,一般是用来给SEM扫描电镜中非导电样品镀膜,使得样品拥有良好的导电性能,避免产生荷电效应,从而能看到更好的电镜效果图。我司提供的镀膜仪有喷金仪和镀碳仪,以及镀金镀碳一体的离子溅射仪。其中喷金仪用的原理即是离子溅射,离子溅射的喷金仪可用于大部分样品,尤其是对热敏感的生物样品,而镀碳仪用的则是热蒸镀,因为镀膜过程会产生高温,所以不适合热敏感样品镀膜。

JY-S100离子溅射仪

JY-S100磁控离子溅射仪是一款结构紧凑的桌面小型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。

JY-S100离子溅射仪
离子溅射仪

JY-S100 PLUS离子溅射仪

JY-S100PLUS 是一款桌上型冷态磁控溅射镀膜系统,标配旋转倾斜样品台,特别适用于各种表面形貌的非导电样品在扫描电镜成像中的高质量镀膜,也可满足电极镀膜,半导体等材料镀膜的要求。

Ted Pella 108 Auto离子溅射镀膜仪

进口Ted Pella 108 Auto是一款结构紧凑的可放置于桌面的小型全自动镀膜设备,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。

离子溅射仪

Ted Pella 108 manua离子溅射仪

进口Ted Pella 108 manual是一款结构紧凑的半自动桌上型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜,可使用多种金属靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶为标配)。

Ted Pella 108C镀碳仪

进口Ted Pella 108C是用于扫描电镜能谱分析的小型桌面型镀碳仪。108C中使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。

离子溅射仪

Ted Pella 108 Auto SE喷金仪

Ted Pella 108 Auto SE是一款带有大样品室的离子溅射喷金仪,样品室尺寸为:直径150mm x 165mm 高,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。

Ted Pella 208C高真空镀碳仪

Ted Pella 208C高真空镀碳仪为SEM、TEM、STEM、EDS/WDS、EBSD和微探针分析提供高质量的镀膜技术。系统结构紧凑,所占空间小。样品室直径150mm,可快速抽真空进行镀膜处理,处理周期约10分钟。

离子溅射仪

Ted Pella 208HRD高真空离子溅射仪

Ted Pella 208HRD高分辨离子溅射仪为场发射扫描电镜应用中遇到的各种样品喷镀难题提供真正的解决方案。高分辨膜厚控制仪分辨率小于0.1nm,其作用是对所镀薄膜的厚度进行精确控制。

JYSC-110离子溅射仪

JYSC-110型离子溅射仪主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜(金膜),仪器操作简单方便,是配合SEM 制样的仪器。设备配有微量充气阀调节工作真空,在 20Pa 真空保护。同时,配有专用进气口和微量充气调节装置,以方便空气或氩气等工作气体充入。

离子溅射仪

JYSC-1000离子溅射仪

JYSC-1000型小型磁控离子溅射仪主要用于SEM制样样品镀导电膜(如金膜)或材料镀膜,仪器性能稳定,操作简单方便。采用磁控冷态溅射,基本不升温,保护样品。

JYE100C喷碳仪

JYE100C型小型喷碳仪主要用于扫描电镜 EDS 样品镀导电膜 ,仪器操作简单方便,是配合 SEM 制样的仪器。

离子溅射仪配套靶材

离子溅射仪镀膜的效果会受到目标样品相互作用的影响,所以应该根据实际样品来选择合适的靶材。大多数溅射材料都具有较高的二次电子(SE)产生率,而有较低原子序数的溅射材料更适合于样品的背散射电子(BSE)成像。目前用的比较多的是金靶和铂靶。金靶溅射后颗粒较大,所以高倍成像更适合用铂靶在高真空下镀膜。

镀碳仪配套碳棒

光谱纯的碳棒,杂质等于或小于2ppm。可应用于TEM,FESEM,FIB,WDS,EBSD,Microprobe和SEM / EDS。

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离子溅射仪的常见问题和故障排除

没有镀膜或镀膜很薄: 检查氩气传输管线和压力。 确认靶材安装正确且未耗尽。 确保靶材的电气连接良好。 检查真空室的真空度。 镀膜不均匀: 确保样品旋转和/或倾斜功能正常。 检查靶材到样品的距离。 确认样品表面清洁无污染物。 样品过热: 降低溅射功率(电流或电压)。 缩短溅射时间。 确保磁控溅射头中的磁体功能正常(如果适用)。 镀膜后图像质量差(如仍存在充电现象): 稍微增加镀膜厚度。 使用导电胶带或胶水确保样品与样品台之间的良好电气接触。 考虑使用导电性更高的其他镀膜材料。 靶材不溅射: 检查溅射头的高压电源。 确保真空度合适。...

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离子溅射仪镀膜后样品还有伪影的避免方法

离子溅射仪镀膜过的样品为什么会有一些出现一些伪影,影响最终的SEM图像质量呢。一般来说有以下几点。 充电伪影: 镀膜厚度不足或镀膜不连续会导致电荷在SEM成像过程中积累,产生图像变形、亮点和扫描光栅偏移。避免方法: 确保足够的镀膜厚度和连续性。使用导电的样品固定介质(如导电胶带、银胶)有效地将样品接地。 颗粒感/粗糙度: 镀膜材料本身的晶粒结构在高放大倍数下可能会变得可见,从而掩盖样品的精细特征。避免方法: 对于高分辨率应用,选择晶粒尺寸更小的镀膜材料(如铂、铱)。 过热/电子束损伤:...

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透射电镜样品制备技术指南:材料科学篇

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