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离子溅射仪

离子溅射仪,一般是用来给SEM扫描电镜中非导电样品镀膜,使得样品拥有良好的导电性能,避免产生荷电效应,从而能看到更好的电镜效果图。我司提供的镀膜仪有喷金仪和镀碳仪,以及镀金镀碳一体的离子溅射仪。其中喷金仪用的原理即是离子溅射,离子溅射的喷金仪可用于大部分样品,尤其是对热敏感的生物样品,而镀碳仪用的则是热蒸镀,因为镀膜过程会产生高温,所以不适合热敏感样品镀膜。

JY-S100离子溅射仪

JY-S100磁控离子溅射仪是一款结构紧凑的桌面小型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。

JY-S100离子溅射仪
离子溅射仪

JYSC-110离子溅射仪

JYSC-110型离子溅射仪主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜(金膜),仪器操作简单方便,是配合SEM 制样的仪器。设备配有微量充气阀调节工作真空,在 20Pa 真空保护。同时,配有专用进气口和微量充气调节装置,以方便空气或氩气等工作气体充入。

JYSC-1000离子溅射仪

JYSC-1000型小型磁控离子溅射仪主要用于SEM制样样品镀导电膜(如金膜)或材料镀膜,仪器性能稳定,操作简单方便。采用磁控冷态溅射,基本不升温,保护样品。

JYE100C喷碳仪

JYE100C型小型喷碳仪主要用于扫描电镜 EDS 样品镀导电膜 ,仪器操作简单方便,是配合 SEM 制样的仪器。

离子溅射仪配套靶材

离子溅射仪镀膜的效果会受到目标样品相互作用的影响,所以应该根据实际样品来选择合适的靶材。大多数溅射材料都具有较高的二次电子(SE)产生率,而有较低原子序数的溅射材料更适合于样品的背散射电子(BSE)成像。目前用的比较多的是金靶和铂靶。金靶溅射后颗粒较大,所以高倍成像更适合用铂靶在高真空下镀膜。

镀碳仪配套碳棒

光谱纯的碳棒,杂质等于或小于2ppm。可应用于TEM,FESEM,FIB,WDS,EBSD,Microprobe和SEM / EDS。