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离子溅射仪

离子溅射仪,一般是用来给SEM扫描电镜中非导电样品镀膜,使得样品拥有良好的导电性能,避免产生荷电效应,从而能看到更好的电镜效果图。我司提供的镀膜仪有喷金仪和镀碳仪,以及镀金镀碳一体的离子溅射仪。其中喷金仪用的原理即是离子溅射,离子溅射的喷金仪可用于大部分样品,尤其是对热敏感的生物样品,而镀碳仪用的则是热蒸镀,因为镀膜过程会产生高温,所以不适合热敏感样品镀膜。

JY-S100离子溅射仪

JY-S100磁控离子溅射仪是一款结构紧凑的桌面小型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。

JY-S100离子溅射仪
离子溅射仪

JY-S100 PLUS离子溅射仪

JY-S100PLUS 是一款桌上型冷态磁控溅射镀膜系统,标配旋转倾斜样品台,特别适用于各种表面形貌的非导电样品在扫描电镜成像中的高质量镀膜,也可满足电极镀膜,半导体等材料镀膜的要求。

JYSC-110离子溅射仪

JYSC-110型离子溅射仪主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜(金膜),仪器操作简单方便,是配合SEM 制样的仪器。设备配有微量充气阀调节工作真空,在 20Pa 真空保护。同时,配有专用进气口和微量充气调节装置,以方便空气或氩气等工作气体充入。

离子溅射仪

JYSC-1000离子溅射仪

JYSC-1000型小型磁控离子溅射仪主要用于SEM制样样品镀导电膜(如金膜)或材料镀膜,仪器性能稳定,操作简单方便。采用磁控冷态溅射,基本不升温,保护样品。

JYE100C喷碳仪

JYE100C型小型喷碳仪主要用于扫描电镜 EDS 样品镀导电膜 ,仪器操作简单方便,是配合 SEM 制样的仪器。

离子溅射仪配套靶材

离子溅射仪镀膜的效果会受到目标样品相互作用的影响,所以应该根据实际样品来选择合适的靶材。大多数溅射材料都具有较高的二次电子(SE)产生率,而有较低原子序数的溅射材料更适合于样品的背散射电子(BSE)成像。目前用的比较多的是金靶和铂靶。金靶溅射后颗粒较大,所以高倍成像更适合用铂靶在高真空下镀膜。

镀碳仪配套碳棒

光谱纯的碳棒,杂质等于或小于2ppm。可应用于TEM,FESEM,FIB,WDS,EBSD,Microprobe和SEM / EDS。