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108Auto 离子溅射仪(喷金仪)

108 Auto是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。

可使用多种金属靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶为标配),靶材更换快速方便。

 

108 Auto是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。

主要特性

一、自动的换气与泄气功能,可以得到一致的膜厚,和最佳的导电喷镀效果。

二、通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。

三、操作容易快捷,可全自动或手动进行喷镀操作,控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。

四、在自动模式下,可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果,

五、通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪(选件)在达到设定膜厚时停止喷镀过程。

六、数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。

可使用多种金属靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶为标配),靶材更换快速方便。

 

技术参数

 

溅射系统
样品室大小 直径120mm x 120mm 高
靶材 标配Au ,可选配 Au:Pd, Pt, Pt:Pd等;大小:直径57mm x 0.1mm厚
样品台 可以装载12SEM样品座,高度可调范围为65mm。可选配旋转倾斜样品台,

旋转速度:0~120rpm可调,倾斜角度:0~90°可调。旋转样品台具有单独腔体保护,可防污染。

溅射控制 微处理器控制,安全互锁,可调,电流10、20、30、40mA,程序化数字控制
溅射头 低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩
计量 atm~1*10-3mba   / 0~50mA
厚度监控(选件) 使用MTM-20高分辨厚度控制仪(选件)自动终止溅射过程.
控制方法 自动气体换气和泄气功能,自动处理排序,带有“暂停”控制的数字定时器(5-300s),自动放气.整个操作亦可全手动控制。
真空系统
真空泵 原装进口2级直连式高速真空泵
抽气速率 100L/MIN
噪音 50dB
极限真空 ≤1   x 10-3 Torr

 

关于108Auto 离子溅射仪(喷金仪)