描述
JY-S100磁控离子溅射仪是一款结构紧凑的桌面小型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。
在扫描电子显微镜(SEM)样品制备中,JY-S100磁控离子溅射仪在不同类型的样品,如生物标本和材料样品制备中发挥着至关重要的作用。
对于生物标本,JY-S100磁控离子溅射仪有助于在样品表面形成一层导电层,防止荷电效应并减少电子束对样品表面的损伤。这种导电层使得在不影响其完整性的情况下更好地成像细胞、组织和纤维等微妙的生物结构。高质量的镀膜还能增强二次电子信号,从而提高图像分辨率和对比度。
对于材料样品,JY-S100磁控离子溅射仪在给样品镀上均匀且薄的导电层方面至关重要,使得样品的表面形貌和成分能够进行高分辨率成像。这对于非导电材料(如陶瓷、聚合物和复合材料)尤为重要,因为荷电效应可能导致成像伪像和失真。JY-S100提供的精确且一致的镀膜确保了SEM图像准确地反映了样品的表面特征,使研究人员能够深入了解材料的性能。
主要特性
通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。
操作容易快捷,控制的参数包括放气以及氩气换气控制。
数字化的喷镀电流控制不受样品室内气压影响,可得到一致的镀膜速率和高质量的镀膜效果。
可使用多种金属靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶为标配),靶材更换快速方便。
技术参数
溅射系统 | |
样品仓尺寸 | 120 x120mm |
靶材 | Au 靶为标配,可选 Pt,直径 57mm x 0.1mm 厚 |
标准样品台 | 可以装载 12 个 SEM 样品座,高度可调范围为 60mm |
※旋转倾斜样品台(选配) | 旋转速度:0~60rpm 连续可调,倾斜角度:-90°~ 90°连续可调; 不锈钢腔体:直径 120mm X 高 75mm; 观察窗:直径 120mm X 高 45mm; 标配旋转台直径 40mm,可放 4 个标准样品台,其它规格可订做; 具有双重锁紧装置,可确保样品在旋转倾斜时不会松动脱落。 |
溅射电流 | 微处理器控制,安全互锁,可调,电流 5~30mA,程序化数字控制 |
计量表 | 真空: Atm ~ 3Pa,电流:0~99mA |
控制方法 | 带有“开始”“暂停”按钮的微处理控制器(1-999s),自动抽气、溅射、关机后自动放气。 |
真空泵系统 | |
抽气速率 | 133L/MIN |
极限真空 | 0.05 Pa |
噪音 | 56dB |