描述
广州竞赢自主研制的JY-S120A是一款全自动镀膜仪，采用全新的智能化操作方式，专为扫描电镜成像中的非导电样品高质量镀膜设计。设备配备直观的操作界面，用户可轻松设定真空度、溅射时间、电流等，并支持一键调用和运行预设方案，极大简化了操作流程。
产品特性
- 高效溅射：采用高效的低压直流磁控溅射技术，使镀层颗粒细腻均匀，避免了对样品表面的损伤 。
- 用户友好界面：配备触控式IPS液晶显示屏 。界面友好，可一键运行程序 。
- 自动化操作：可设置一键启动，系统能自动完成抽真空、腔室冲洗、溅射参数调整和溅射镀膜等流程 。镀膜完成后，可设置自动或手动泄压 。
- 数字化控制：溅射电流采用数字化控制，不受样品室内气压影响，可获得一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果 。
- 多种靶材兼容：可使用多种金属靶材，包括金 (Au)、金/钯 (Au/Pd)、钯 (Pd)、银 (Ag)、铂 (Pt) 和铂/钯 (Pt/Pd)，靶材更换快速方便 。
- 系统监控：系统可实时曲线显示溅射电流和工作真空度 。同时具备历史记录功能，可查看历史运行程序日志，包括溅射电流、溅射时间、工作压力等 。
- 方案存储：内置6个预设方案，可设置并存储常用参数为自定义方案，一键调用运行 。
- 语音提示：可开启/关闭屏幕触控声音，镀膜完成后具备提示音 。
- 靶材使用情况：可记录靶材使用时间及次数 。
技术参数
- 设备尺寸：450×310×340 mm
- 功率：80W
- 操作真空：3-15 Pa，步进为1 Pa
- 溅射电流：3-40 mA，步进为1 mA
- 溅射时间：1-999 s，步进为1 s
- 真空腔室：高硅硼玻璃材质，可视性好，尺寸为 Ø120×120 mm
- 样品台：直径为 Ø63 mm，可装载12个直径为 Ø12.7 mm 的SEM钉型样品座，高度调整范围为25-65 mm
- 靶材：标配铂金靶，规格为 57 mm×0.1 mm
- 显示语言：支持中英文切换
真空泵系统
- 抽速：8 m3/h (2.2 L/s)
- 极限真空：5×10−2 Pa
- 功率：400W
- 噪音：56 dB
