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大样品室离子溅射喷金仪Ted Pella 108 AutoSE

Ted Pella 108 Auto SE是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。

分类: ,    品牌:Ted Pella

描述

Ted Pella 108 Auto SE是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。

主要特性

  • 自动的换气与泄气功能,可以得到一致的膜厚,和最佳的导电喷镀效果。
  • 通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。
  • 操作容易快捷,可全自动或手动进行喷镀操作,控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。
  • 在自动模式下,可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果,
  • 通过使用高分辨膜厚控制仪(选件)在达到设定膜厚时停止喷镀过程。
  • 数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。
  • 可使用多种金属靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶为标配),靶材更换快速方便。

 

技术参数

溅射系统
样品室大小直径150mm x 165mm

高度可调:165mm-250mm

靶材Au 靶为标配, Au:Pd, Pt, Pt:Pd (选件);大小:直径57mm x 0.1mm厚
样品台可以装载12个SEM样品座,高度可调范围为60mm
溅射控制微处理器控制,安全互锁,可调,最大电流40mA,程序化数字控制
溅射头低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩,具有溅射挡板保护溅射头
模拟计量真空: Atm – 0.001mbar,电流:0-50mA
厚度监控
(
选件)
使用高分辨厚度控制仪(选件)可自动终止溅射过程。
控制方法自动气体换气和泄气功能,自动处理排序,带有“暂停”控制的数字定时器(0-300s),自动放气
真空系统
真空泵2级直连式高速真空泵
抽气速率160L/MIN
噪音≤56dB
极限真空5 x 10-4mbar

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