透射电子显微镜 (TEM) / 扫描透射电子显微镜 (STEM) 校准标样
产品概览
TEM 与 STEM 校准标样,用于放大倍率校准、相机长度校准、图像旋转校准、像差校正器对准、Serial EM(序列电子显微镜)以及分辨率测试等应用。本系列主要包括以下四大类产品:
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1 衍射光栅复制品 平行线、网格(Waffle)、交叉线等多种图案规格,采用 Au/Pd 阴影碳复制工艺,沟槽清晰,便于精确测量。 |
2 两合一标样(带乳胶球) 光栅与标准尺寸乳胶球共存于同一载网,一次观测即可对放大倍率进行双重验证。 |
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3 特殊应用版(A 系列) 针对现代带像差校正器的电镜优化,采用老款风格光栅——图像相对模糊、缺陷更多,但更适合像差测量。 |
4 其他辅助标样 铝衍射标样、三氧化钼图像旋转标样、复合金 / 石墨化碳测试标样、金阴影乳胶颗粒标样等。 |
详细介绍
A性能评估与分辨率测试
货号 638
复合 TEM 测试标样 金 / 石墨化碳测试标样

用途 评估显微镜性能限制因素 · 观察晶格条纹 · 测量污染速率
在有孔碳膜上蒸镀金,并沉积石墨化碳颗粒。这些颗粒在孔上方观察时,可用于评估限制显微镜性能的各种因素;蒸镀的金形成小的多晶岛,在岛内可以分辨晶格条纹;同时可通过观察金膜孔内碳的沉积速率,测量电子显微镜中的污染速率。
有孔碳膜 + 蒸镀金
石墨化碳颗粒
晶格条纹可分辨
污染速率监测
货号 628-B
金阴影乳胶颗粒标样

用途 STEM 点分离分辨率测试
直径 0.204 µm 乳胶颗粒,表面覆有较厚金涂层,金形成强散射岛,衬度优异,非常适合 STEM 点分辨率测试。
技术要点
· 最小的金颗粒分布在乳胶球阴影边缘,点分离分辨率检查应在此区域选取测试点
· 判定方法:刚好可分辨为分离的两颗粒中心距离,即为分辨率的度量
· 电子辐照具有统计性,底片上可能出现不代表样品结构的局部黑斑——须在同一焦距下对同一视野连续拍摄两张照片,两张中均可辨认的点对方可用于性能判定
· 应选取多个不同取向的点对,以排除方向性像缺陷;如有光学衍射计,建议用于读取底片,结果更可靠
乳胶颗粒 Ø 0.204 µm
厚金涂层
STEM 强散射
B相机长度与图像旋转校准
货号 619
铝衍射标样(相机长度校准)

用途 校准选区衍射模式的有效相机长度
选区模式下电子显微镜的有效相机长度标称值对于晶格间距计算不够准确,必须通过已知衍射间距的物质进行校准。本标样采用厚度约 31 nm 的蒸镀铝膜,极小的晶粒尺寸产生适合校准的环形衍射图案,随附一份主要晶格间距列表。
技术要点
· 标样与待测样须在相同透镜电流 / 高压条件下曝光,并保持相同的样品位置(可微调样品台以获得更清晰图案)
· 计算方法:先测标样衍射环直径 S(cm),按附表 d 值以 K = S × d 求出相机常数;前 5 条环的 K 值相互偏差应小于 1%,取平均值后再测量待测样并反推 d 间距
· 附铝 ASTM d 间距表(共 9 条衍射线):111–2.338 Å、200–2.024 Å、220–1.431 Å、311–1.221 Å、222–1.169 Å 等,平均晶胞 a = 4.0494 Å
蒸镀铝膜 ~31 nm
环形衍射图案
附晶格间距表
G400 铜网
货号 625
三氧化钼图像旋转标样

用途 观察图像与衍射图案之间的旋转关系
当从样品图像切换到衍射图案时,中间镜强度变化会导致图像旋转。三氧化钼(MoO₃)晶体形状清晰规整,可直观显示取向变化,便于测定图像—衍射旋转角。
技术要点
· 选择无重叠的薄晶体,以获得清晰的 Laue 衍射图
· 从衍射图出发改变衍射镜强度,直至每个衍射斑点显示晶体小像,据此判断图像旋转方向,并检查衍射位置与选区放大之间是否存在像反转
· 旋转角测量:在同一张底片上同时记录图像与衍射图,结合旋转方向与像反转确定实际旋转角
· 注意:从电镜中取出标样后,须清洁样品杆上粘附的三氧化钼
MoO₃ 晶体
形貌清晰直观
G400 铜网
C放大倍率校准 · 交叉线光栅(中低倍)
500 nm 交叉线光栅 · 通用参数
线间距 500 nm ±1%;图案需在成像系统约 2,500× 以上方可分辨。倍率计算公式:M = A × 2,000 ÷ B(A = 首末限制线之间的距离 mm,B = 首末限制线之间的间隔数),尽量多取方格测量;也可使用在线倍率校准计算器。母版光栅金面的沟痕等表面痕迹不影响线间距精度。
货号 677
500 nm 交叉线光栅标样

用途 中低放大倍率校准(最高约 100,000×)
带有 Au/Pd 阴影的碳复制品,基于具有清晰沟槽的交叉线光栅。平行线间距为 500 nm(2000 线/mm),沟槽设计便于精确测量。
线间距 500 nm ±1%
2000 线/mm
Au/Pd 阴影
≤ ~100,000×
G400 铜网
货号 673
500 nm 带乳胶球交叉线光栅标样


用途 高放大倍率双重校准(最高约 150,000×)
两合一标样,同时提供交叉线光栅与直径 261 nm 乳胶球,一次观测即可对放大倍率进行双重验证。
技术要点
· 乳胶球存在尺寸涨落,不作为精确测定倍率的依据(结果与光栅法相近),主要用于直观参照——判断其他样品中目标结构可见的最低倍率;精确校准以光栅间距为准
· 始终以最低舒适照明观察,避免乳胶球退化
500 nm 光栅 + Ø 261 nm 乳胶球
倍率双重验证
≤ ~150,000×
G400 铜网
D放大倍率校准 · 2160 线/mm 光栅(常规版)
2160 线/mm 光栅 · 通用参数
线间距 463 nm ±1%;图案需在成像系统约 2,500× 以上方可分辨。倍率计算公式:M = A × 2,160 ÷ B(A = 首末限制线之间的距离 mm,B = 首末限制线之间的间隔数),尽量多取方格测量;也可使用 PELCO® 在线倍率校准计算器。母版光栅金面的沟痕等表面痕迹不影响线间距精度。
货号 606
2160 线/mm 平行线光栅标样

用途 常规放大倍率校准(约 40–50,000×)
带有 Au/Pd 阴影的碳复制品,平行线光栅 2160 线/mm,线间距 462.9 nm。
2160 线/mm
线间距 462.9 nm ±1%
~40–50,000×
G400 Gilder 网格
货号 607
2160 线/mm 网格(栅格)光栅标样

用途 较高放大倍率校准(约 80–100,000×)
带有 Au/Pd 阴影的碳复制品,双向 2160 线/mm 网格(栅格)图案,可同时校准 X / Y 两个方向的放大倍率。
双向网格 2160 线/mm
X / Y 同步校准
~80–100,000×
G400 Gilder 网格
货号 603
2160 线/mm 带乳胶球光栅标样(常规版)

用途 高放大倍率放大倍率双重校准
两合一标样:直径 0.261 µm 乳胶球 + 2160 线/mm 碳光栅(Au/Pd 阴影),光栅定标、乳胶球复核,一次装载完成双重验证。
技术要点
· 乳胶球存在尺寸涨落,不作为精确测定倍率的依据(结果与光栅法相近),主要用于直观参照——判断其他样品中目标结构可见的最低倍率;精确校准以光栅间距为准
· 始终以最低舒适照明观察,避免乳胶球退化
Ø 0.261 µm 乳胶球
2160 线/mm
倍率双重验证
G400 Gilder 网格
E特殊应用版· 像差校正 / Serial EM
为什么 A 系列采用「老款风格」光栅?
A 系列专为现代带像差校正器的电镜优化。与常规版相比,老款风格光栅图像相对模糊、缺陷更多——而这些特征恰好为像差测量与校正器校准提供了更理想的信息基础(应用户需求重新推出)。
货号 607-A
2160 线/mm 网格光栅标样(特殊应用版)

用途 像差校正器校准 · Serial EM 校准(推荐用于高端应用)
专为像差校正和 Serial-EM 优化。采用老款风格光栅,含有更多缺陷、图案清晰度稍低,但更适合像差测量等特殊应用。光栅规格与 607 一致(2160 线/mm),通用参数与使用方法参照上方 607说明。
老款风格光栅
像差测量优化
Serial EM 适用
G400 铜网
货号 603-A
2160 线/mm 带乳胶球光栅标样(特殊应用版)

用途 像差校正器对准 · Serial EM 校准 + 放大倍率双重验证
结合老款光栅优点与直径 0.261 µm 乳胶球,适用于像差校正器对准和 Serial EM,同时支持放大倍率校准。光栅规格与 603 一致(2160 线/mm),通用参数与乳胶球观察注意事项参照上方 603说明。
老款光栅 + Ø 0.261 µm 乳胶球
像差校正器对准
倍率双重验证
光栅复制品标样 · 使用与保养(677 / 673 / 606 / 607 / 603 / 607-A / 603-A 通用)
· 不用时放回保存管;表面不可触摸、不可清洗;避免弯折铜网,以免开裂
· 观察时从低倍率、低照明开始;将照明稍增至略高于舒适水平后回降,有助于稳定标样;移动视野前先降回照明与倍率
· 含乳胶球的标样(673 / 603 / 603-A)始终以最低舒适照明观察,避免乳胶球退化
选型速查表
| 产品编号 | 产品名称 | 主要应用 | 关键参数 | 适用倍率 / 模式 |
|---|---|---|---|---|
| 638 | 复合 TEM 测试标样 | 性能评估 · 污染速率 | 有孔碳膜 + 金 + 石墨化碳 | 高分辨成像 |
| 628-B | 金阴影乳胶颗粒标样 | STEM 分辨率测试 | Ø 0.204 µm 金涂层颗粒 | STEM |
| 619 | 铝衍射标样 | 相机长度校准 | ~31 nm 蒸镀铝膜 | 选区衍射 |
| 625 | 三氧化钼图像旋转标样 | 图像旋转校准 | MoO₃ 晶体 | 图像 / 衍射切换 |
| 677 | 500 nm 交叉线光栅标样 | 放大倍率校准 | 2000 线/mm | ≤ ~100,000× |
| 673 | 500 nm 光栅 + 乳胶球 | 倍率双重校准 | 光栅 + Ø 261 nm 球 | ≤ ~150,000× |
| 606 | 2160 线/mm 平行线光栅 | 放大倍率校准 | 线间距 462.9 nm | ~40–50,000× |
| 607 | 2160 线/mm 网格光栅 | 放大倍率校准 | 双向网格 | ~80–100,000× |
| 603 | 2160 线/mm + 乳胶球(常规版) | 倍率双重校准 | 光栅 + Ø 0.261 µm 球 | 高倍率 |
| 607-A | 网格光栅(A 系列) | 像差校正 · Serial EM | 老款风格光栅 | 高端应用 |
| 603-A | 网格 + 乳胶球(A 系列) | 像差校正 + 倍率验证 | 老款光栅 + 乳胶球 | 高端应用 |
注:以上倍率范围为典型建议值,实际适用范围以电镜状态与观测条件为准。


