AFM / STM / SPM 台阶标样-竞赢科仪-广州竞赢科学仪器有限公司

用于扫描探针显微镜（SPM）、原子力显微镜（AFM）和扫描隧道显微镜（STM）的台阶标样，可用于扫描器的高度校准、横向校准以及扫描性能测试。不同产品采用不同尺寸和结构的微纳米台阶，可针对 Z 轴、X/Y 轴或 X/Y/Z 三个方向进行测量和校准。产品包括不同高度范围的标准台阶结构、三角形结构、针尖锐度测试结构、横向校准结构以及 X/Y/Z 三向测试结构。部分标样可提供未装载芯片，也可预先安装在标准 12 mm AFM圆片上。

01｜台阶标样系列

Z轴台阶标样	629-10 / 629-20 / 629-30 用于 Z 轴高度校准及线性度测量，台阶高度分别约为 20 nm、110 nm 和 520 nm。
三角形台阶标样	629-40 用于 X 或 Y 轴校准、扫描器非线性及角度畸变检测，也可用于 AFM 针尖表征。
针尖锐度台阶标样	629-50 用于扫描针尖三维形貌观察、针尖锐度表征以及针尖状态检测。
横向校准台阶标样	629-60 用于扫描器横向校准，以及横向非线性、滞后、蠕变和交叉耦合效应检测。
XYZ三向台阶标样	629-70 用于 X、Y、Z 三个方向的校准，并可用于扫描器横向性能测试。
SiC纳米台阶标样	629-85 / 629-90 基于 6H-SiC (0001) 晶体，用于 AFM 扫描器垂直方向的纳米级简易校准。

02｜Z轴台阶标样

产品编号：
629-10 / 629-10AFM / 629-20 / 629-20AFM / 629-30 / 629-30AFM

该系列台阶标样用于 SPM Z 轴高度校准和线性度测量。产品采用 Si 晶圆和 SiO₂ 光栅层结构，具有规则的一维台阶图案，提供不同的标称台阶高度，以适应不同的 Z 轴测量范围。

材料	Si 晶圆 + SiO₂ 光栅层
图案	一维台阶结构
周期	3 ± 0.01 µm
芯片尺寸	5 × 5 × 0.5 mm
有效区域	中心 3 × 3 mm 正方形区域
台阶高度说明	台阶高度为标称值，实际高度随产品提供，可能存在约 ±5% 的偏差。

629-10 / TGZ-20

产品编号	629-10：未装载 629-10AFM：安装于 12 mmAFM圆片上
标称台阶高度	20 nm

629-20 / TGZ-100

产品编号	629-20：未装载 629-20AFM：安装于 12 mmAFM圆片上
标称台阶高度	110 nm

629-30 / TGZ-500

产品编号	629-30：未装载 629-30AFM：安装于 12 mmAFM圆片上
标称台阶高度	520 nm

03｜三角形台阶标样

产品编号：
629-40 / 629-40AFM

该三角形台阶标样用于 SPM X 或 Y 轴校准、扫描器横向及垂直方向非线性检测、角度畸变检测以及 AFM 针尖表征。标样表面具有规则的一维三角形台阶结构。

材料	Si 晶圆表面结构
结构	一维三角形台阶阵列
边缘角度	约 70°
边缘半径	≤10 nm
图案高度	约 1.8 µm（参考值）
周期	3 ± 0.01 µm
芯片尺寸	5 × 5 × 0.5 mm
有效区域	中心 3 × 3 mm
安装方式	未装载或安装于 12 mmAFM圆片上

04｜针尖锐度台阶标样

产品编号：
629-50 / 629-50AFM

该标样用于扫描针尖三维形貌可视化、针尖锐度参数测定，以及针尖退化和污染状态的检测。
表面采用规则排列的尖锐结构，可用于观察 AFM 针尖与标准微纳米结构之间的成像关系。

材料	Si 晶圆表面结构
结构	尖锐针尖阵列
针尖角度	约 50°
针尖半径	≤10 nm
针尖高度	0.3–0.7 µm
周期	3 ± 0.01 µm
对角线周期	2.12 µm
芯片尺寸	5 × 5 × 0.5 mm
有效区域	中心 2 × 2 mm
安装方式	未装载或安装于 12 mmAFM圆片上

05｜横向校准台阶标样

产品编号：
629-60 / 629-60AFM

该横向校准台阶标样用于 SPM 扫描器横向校准，以及横向非线性、滞后、蠕变和交叉耦合效应检测，同时可用于针尖纵横比测定。
标样具有规则排列的方形柱结构和尖锐底切边缘。

材料	Si 晶圆表面结构
结构	棋盘状方形柱阵列，带尖锐底切边缘
结构高度	0.3–0.6 µm（参考值）
顶部方形尺寸	1.2 × 1.2 µm（参考值）
边缘半径	≤10 nm
周期	3 ± 0.05 µm
芯片尺寸	5 × 5 × 0.5 mm
有效区域	中心 3 × 3 mm
安装方式	未装载或安装于 12 mmAFM圆片上

06｜XYZ三向台阶标样

产品编号：
629-70 / 629-70AFM

该台阶标样用于 X、Y、Z 三个方向的测试和校准，也可用于 SPM 扫描器横向校准、非线性、滞后、蠕变及交叉耦合效应检测。
标样采用 Si 晶圆和 SiO₂ 光栅层结构，表面具有规则排列的三维小方形结构。

材料	Si 晶圆 + SiO₂ 光栅层
结构	三维小方形阵列
高度	20 ± 1.5 nm
方形尺寸	1.5 ± 0.15 µm
周期	3 ± 0.05 µm
芯片尺寸	5 × 5 × 0.5 mm
有效区域	中心 3 × 3 mm
高度精度说明	高度数据基于批次抽样测量，实际台阶高度可能在标称值约 ±10% 的范围内变化。
安装方式	未装载或安装于 12 mmAFM圆片上

07｜SiC纳米台阶标样

629-85 / SiC 0.75 nm

产品编号：629-85

629-90 / SiC 1.5 nm

产品编号：629-90

SiC纳米台阶标样基于 6H-SiC (0001) 晶体，表面具有近乎均匀的半单层台阶，可提供约 0.75 nm 或 1.5 nm 的单台阶高度。
SiC 材料具有良好的化学和机械稳定性。

台阶高度对应于 6H-SiC 晶体（0001）方向晶格常数的一半，适用于 AFM 扫描器垂直方向的纳米级高度测量和简易校准。

SiC / 0.75

结构	带台阶的 6H-SiC
单台阶高度	0.75 nm
平均台阶间距	0.15–0.4 µm
表面倾角	约 0.2°
台阶间区域平均粗糙度	0.09 nm
芯片尺寸	5 × 5 × 0.3 mm

SiC / 1.5

结构	带台阶的 6H-SiC
单台阶高度	1.5 nm
平均台阶间距	0.2–0.5 µm
表面倾角	约 0.3°
台阶间区域平均粗糙度	0.09 nm
芯片尺寸	5 × 5 × 0.3 mm

629-85-3D 629-90-3D

629-85-m

08｜SiC纳米台阶标样校准方法

基本操作

1．放置标样
将 SiC 纳米台阶标样放置在 AFM 探针下方的平坦、水平工作区域上。

2．扫描台阶
使 AFM 探针接近样品表面，并在高度测量模式下进行形貌扫描。

对于不同台阶高度，技术文档给出了相应的推荐扫描尺寸：

SiC / 0.75	推荐扫描尺寸约 5 µm
SiC / 1.5	推荐扫描尺寸约 10 µm

3．进行 Z 轴校准
根据 AFM 扫描得到的实际台阶高度，对扫描器的 Z 轴运动进行校准。

09｜台阶标样选择

不同台阶标样针对不同的扫描方向和测试目的设计，可根据 AFM / STM / SPM 的实际校准需求选择。

Z轴高度校准

推荐产品	629-10 / 629-20 / 629-30；纳米级高度校准可选择 629-85 / 629-90
主要参数	20 nm、110 nm、520 nm；SiC 产品为 0.75 nm、1.5 nm

X / Y 横向校准

推荐产品	629-40 / 629-60
主要用途	横向尺寸校准、扫描器非线性及相关运动性能测试。

X / Y / Z 三向校准

推荐产品	629-70
主要参数	20 ± 1.5 nm 高度，3 ± 0.05 µm 周期。

针尖锐度及形貌表征

推荐产品	629-40 / 629-50 / 629-60
主要用途	针尖形貌、锐度、纵横比以及成像状态表征。

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