SEM法拉第杯

PELCO® 法拉第杯由黄铜制成，整体尺寸仅直径 2.5mm、高 2mm，顶部孔径 100µm。结构紧凑，便于安装在样品托、标准样品台或各类安装座上；也可提供已安装在多种常用 SEM 样品台上的法拉第杯（参见样品台选型 A–R）。

法拉第杯的工作原理

法拉第杯可对聚焦的电子束或离子束进行精确测量，本质上是一个带小开口的封闭空腔：带电粒子经小孔进入空腔，电荷被导入灵敏的皮安计。有些电镜可以计算束流，但远不如实际测量准确；在镜筒内测量束流适用于稳定性与比对测量，但只能估算到达样品表面的实际束流。

PELCO® 法拉第杯的小孔（通常为 100µm 或更小）与孔后较大的空腔可防止背散射电子在样品室内逸出；全部入射电子、背散射电子及几乎全部二次电子均被法拉第杯吸收，从而实现精确的束流测量。

产品规格

安装形式

法拉第杯可用少量导电胶粘接在 SEM 样品台、样品托乃至 SEM 样品室的样品底座上；安装时应使孔口朝向极靴。供货时选择已安装在 SEM 样品台上的型号，则法拉第杯以粘接方式固定于样品台上 0.5mm 深的沉孔中。

测量束流用的皮安计需用户自备：可使用 SEM、FIB 或电子探针系统自带的吸收电流计，或 Keithley 等皮安计。

产品型号

使用方法

在 SEM、FIB 或电子探针系统上使用时，确保装有法拉第杯的样品托与样品台电气连接良好。若系统自带吸收电流计，可直接用其测量法拉第杯中的束流；若系统没有吸收电流计，需外接皮安计（如 Keithley 皮安计）：利用 SEM 腔体外侧的接地接口进行连接，该接口通常有金属盖保证接地，取下金属盖连接皮安计即可测量束流；皮安计电源应与 SEM 取自同一回路；拆除皮安计时务必装回金属盖。若镜筒内有样品台接地线，需请仪器厂家或服务工程师提供吸收电流馈通接口。

将法拉第杯装于样品台，把孔口置于束流之下：用高倍扫描模式或切换到点模式，将束流导入法拉第杯孔口，用吸收电流计或皮安计读出束流；调节聚光镜观察束流变化。点模式与扫描模式切换可估算背散射电子的比例：点模式下全部束流被法拉第杯吸收，而扫描法拉第杯表面成像时，仅部分束流被吸收。

维护与清洁

建议将法拉第杯存放于干燥无尘环境，如干燥器中；正常使用无需清洁。灰尘可用压缩气体除尘罐吹除。若孔口周围污染导致荷电，可用金属抛光剂、木签（11620 号）及无尘布清洁表面，随后在异丙醇/丙酮 1:1 混合液中超声清洗（通风橱内操作），无尘环境中晾干；清洁后重新安装再使用。

温馨提示：如法拉第杯供货时已安装在样品台上，溶剂清洗会使其脱粘。

保存建议

为减少污染对法拉第杯的影响，建议将法拉第杯存放于干燥无尘环境，如真空干燥器中。