肖特基场发射电子枪改造，助力电子束光刻升级

2026-05-15 | 行业新闻

作者：孙千 本文转载自公众号：老千和他的朋友们。原文地址：https://mp.weixin.qq.com/s/BeCn9-W7A0K5-aDxlWYclQ 肖特基场发射电子枪透镜是电子束光刻（EBL）设备光学柱的核心组件，负责电子的产生、聚焦与加速，其稳定性和性能上限，长期以来限制着EBL技术向10纳米以下特征尺寸、超高吞吐量加工方向发展。 代尔夫特理工大学L.A. Musters等人针对Raith B.V....

低真空电子背散射衍射（LV‑EBSD）技术讨论

2026-05-12 | 行业新闻

作者：孙千 本文转载自公众号：老千和他的朋友们。原文地址：https://mp.weixin.qq.com/s/BngFxPYAWQhfL7Skazl8wg 电子背散射衍射（EBSD）早已成为多晶材料晶体学取向、晶粒形貌与物相分布表征的核心手段。但长期以来，传统高真空EBSD始终受限于一项根本约束：针对陶瓷、高分子、水合生物矿物等非导电样品，必须预先喷涂导电涂层以抑制荷电效应，这一预处理会改变样品表面状态，往往让样品无法继续用于后续分析。...

原子层沉积（ALD）技术解读

2026-05-06 | 行业新闻

作者：孙千 本文转载自公众号：老千和他的朋友们。原文地址：https://mp.weixin.qq.com/s/bvRckMSpsA0Okjll7HKHQw 原子层沉积（Atomic Layer Deposition, ALD）是一种靠表面反应控制的化学气相沉积技术，如今已成为原子尺度制造领域的核心技术。它最特别的地方在于，能像搭积木一样，以原子为单位精准控制薄膜厚度，还能在复杂的三维结构表面均匀裹上一层薄膜，不管基底是几平方厘米的实验室样品，还是数平方米的工业板材，薄膜厚度偏差都能控制在很小范围。...

机器学习赋能扫描透射电镜：重新理解原子

2026-04-28 | 行业新闻

作者：孙千 本文转载自公众号：老千和他的朋友们。原文地址：https://mp.weixin.qq.com/s/sVbZ2ZNgoeafZ2IlOT_o5A 扫描透射电镜（STEM）是材料科学、凝聚态物理与催化化学领域原子尺度表征的金标准，依托像差校正技术的革命性突破，它实现了个位数皮米级的原子定位精度，能直接看清固体材料中单个原子与原子列的排布。...

透射电镜中的相位衬度

2026-04-22 | 行业新闻

作者：孙千 本文转载自公众号：老千和他的朋友们。原文地址：https://mp.weixin.qq.com/s/2zrLobgY_MMogJw8gUj7UA 相位衬度成像，是高分辨透射电镜（TEM）实现原子级观测的核心技术，也是TEM从低倍到高倍成像中最普遍的衬度来源。它并非只对应高分辨模式下的晶格成像，其本质是多束电子波相互干涉产生的物理效应，具体会以晶格条纹、莫尔条纹、菲涅尔衬度三种形式呈现，是研究材料界面、应变、缺陷与纳米孔洞的关键表征手段。 本文将讨论相位衬度成像的基本原理、实际应用场景，以及解读过程中最易出现的认知误区。...

透射与扫描透射电镜中的振幅衬度

2026-04-20 | 行业新闻

作者：孙千 本文转载自公众号：老千和他的朋友们。原文地址：https://mp.weixin.qq.com/s/6XRJFWi0GrophTAv6b740w 透射电镜（TEM）和扫描透射电镜（STEM）是材料表征的核心技术，能看清从原子到微米尺度的微观结构与成分细节——而这些细节，正是决定材料性能和功能的关键。...