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SEM 低倍及中等倍率分辨率测试标样

用于扫描电子显微镜(SEM)的低倍及中等倍率成像性能测试。
根据测试目的不同,可选择铝-钨枝晶测试标样或金颗粒像散校正与分辨率标样。

用于扫描电子显微镜(SEM)的低倍及中等倍率成像性能测试。

根据测试目的不同,可选择铝-钨枝晶测试标样或金颗粒像散校正与分辨率标样。

620 铝-钨枝晶标样利用枝晶结构形成的不同间距进行间隙测试,同时利用枝晶的空间拓扑结构观察图像灰度层次;
640 PELCO 金颗粒标样则利用具有清晰边缘和尖角的金颗粒进行像散判断与校正,并可通过较小金颗粒之间的间隙判断仪器分辨能力。

620 铝-钨枝晶分辨率测试标样

产品编号:620

620

620 铝-钨枝晶测试标样用于扫描电子显微镜的中等分辨率测试。
标样表面的枝晶结构具有不同的间距,这些间距可用于进行间隙测试(Gap Test)。

除了枝晶之间的间距之外,枝晶本身具有一定的空间拓扑结构。
这种结构可用于观察 SEM 图像中的灰度层次表现。

该标样为非磁性材料,适合真空环境使用,不会对电子束探针产生不良反应,且无需进行表面镀膜。Ted Pella 给出的适用探针尺寸范围为25–75 nm。

产品编号 620
标样类型 铝-钨枝晶测试标样
主要用途 SEM 中等分辨率测试、间隙测试、灰度层次测试
适用探针尺寸 25–75 nm
磁性 非磁性
表面镀层 无需表面镀膜
供货形式 未安装在样品台上,附使用说明及 SEM 显微照片
样品尺寸 约 Ø10 mm × 4 mm

620 的测试原理

间隙测试

枝晶结构之间具有不同的空间间距,通过观察这些间隙,可以测试 SEM 对不同尺寸细节的分辨能力。

灰度层次测试

枝晶结构具有不同的空间拓扑关系,在 SEM 成像过程中可以形成不同的灰度表现,因此除了观察间隙之外,还可以用于评价图像的灰度层次。

640 PELCO 金颗粒像散校正与分辨率标样

产品编号:640

640640a

640 PELCO 金颗粒像散校正标样采用具有清晰边缘和尖角的金颗粒作为 SEM 成像测试结构。
这些高对比度、边缘清晰的颗粒便于观察图像中的像散,并进行相应校正。

除了像散校正之外,还可以通过观察较小金颗粒之间的间隙来判断仪器的分辨能力。
因此,该标样同时适用于像散判断、像散校正以及分辨率判断。

640 采用 99.99% 金,安装在
1000 目 TEM铜网上,具有较高导电性。
金颗粒所在铜网直径为 3 mm,可安装在 Ted Pella 指定的多种样品台上,也可以根据需要安装在用户自定义的样品台上。

产品编号 640
标样类型 金颗粒像散校正与分辨率标样
主要用途 SEM 像散判断、像散校正、分辨率判断
金材料纯度 99.99%
支撑结构 1000 目铜网
铜网直径 3 mm
导电性 高导电性
安装形式 未安装或预先安装在不同规格 SEM 样品台上
自定义安装 可根据需要安装在用户自定义样品台上

640 为什么可以用于像散校正

640 中的金颗粒形状和尺寸存在较大差异,并具有清晰、明确的边缘和尖角。
这些锐利结构能够较明显地反映电子束像散造成的图像变形,因此适合用于判断是否存在像散并进行校正。

在完成像散校正后,还可以进一步观察较小金颗粒之间的空间间隙,用于判断 SEM 的分辨能力。
因此,640 并不是单纯的分辨率标样,也不是单纯的像散校正工具,而是将两种用途结合在一起。

640 标样的操作与保存

已安装在样品台上的标样

操作时避免接触标样表面。不使用时,应将标样放回原包装或其他能够保护标样表面的容器中。

未安装在样品台上的标样

从运输容器中取出未安装的铜网标样时,建议使用解剖显微镜辅助操作。
夹持铜网时应尽量靠近外缘,并轻柔操作。

  • 不要让标样正面朝下接触其他表面。
  • 不要弯折铜网,以免造成金材料开裂。
  • 避免直接接触金颗粒区域。
  • 不要将标样浸入任何液体。

620 与 640 的区别

620
铝-钨枝晶测试标样
主要用于 SEM 中等分辨率测试。利用枝晶结构之间的不同间距进行间隙测试,同时利用枝晶的拓扑结构观察灰度层次。
640
金颗粒像散校正与分辨率标样
主要用于 SEM 像散判断与校正,同时可通过较小金颗粒之间的间隙判断仪器分辨能力。

640 产品型号

未安装 640
安装形式 640-A、640-B、640-C、640-D、640-E、640-F、640-G、640-K、640-L、640-M、640-O、640-P、640-Q、640-R
640-G 用户提供样品台的安装形式
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