AFM / STM / SPM 校准标样

677-AFM / 677-AFM-10 / 677-STM

2000 lines/mm 交叉线光栅复制标样主要用于 AFM 和 STM 的
X-Y 横向尺寸、扫描距离及倍率校准。

光栅周期为 500 nm，规则的交叉线结构可用于验证扫描器在 X、Y 两个方向上的响应。

• 677-AFM：醋酸纤维素复制标样，安装于 12 mm AFM金属圆片上。
• 677-AFM-10：10 mm 金属圆片版本。
• 677-STM：碳复制结构，带 Au/Pd 阴影镀层，安装于 12 mm 金属圆片上。

677 系列取代了旧款 #607-AFM / #607-STM 交叉线光栅，其中旧款光栅周期约为 463 nm。

#607-STM

该标样采用 2160 lines/mm 的交叉线 Waffle Grating 结构，用于 STM 的 X-Y 横向校准。

标样为碳复制结构，并采用 Au/Pd 阴影镀层，由 400 目、3 mm TEM铜网支撑，安装于 12 mm AFM金属圆片上。

对应的标称光栅周期约为 463 nm。

Highly Oriented Pyrolytic Graphite – HOPG

HOPG（高定向热解石墨）是一种高纯度层状石墨材料，广泛用于扫描探针显微镜，包括 SPM、STM 和 AFM 的样品基底及参考样品。
同时也可作为显微镜校准标样使用。

HOPG 由高度取向的碳原子层构成，标准尺寸为10 × 10 × 1.5 mm。

• #626-10 单面 HOPG：ZYB 等级，马赛克展宽 1° ± 0.4°。
• #626-11 双面 HOPG：ZYB 等级，马赛克展宽 1° ± 0.4°。
• #626-12双面 HOPG：ZYH 等级，马赛克展宽 3.5° ± 0.4°。

单面 HOPG 的可用面通常更加光亮，可观察到部分晶粒，并可通过胶带剥离获得新的表面。

PELCO® AFM Tip & Resolution Test Specimen

#628 用于检查 AFM 探针尖端状态以及评估仪器的高分辨率成像能力，不是用于标准 Z 轴高度校准的台阶标样。

标样表面具有钴颗粒结构。通过观察颗粒成像形貌，可以判断 AFM 探针是否保持良好的尖端状态。

• 颗粒高度约：1–5 nm
• 芯片尺寸：5 × 5 mm
• 适用于 AFM 探针尖端状态与高分辨率测试
• 提供未安装及AFM金属圆片安装版本

TipChecker 用于快速检查 AFM 探针尖端状态。
通过扫描具有高纵横比纳米结构的测试区域，可以快速判断探针是否仍然尖锐，或已经出现磨损、钝化及损坏。

与直接使用 SEM 检查探针相比，TipChecker 可以直接在 AFM 上进行功能性测试，通过实际扫描结果判断探针状态。

• 用于快速检查 AFM 探针尖端状态。
• 可识别良好、磨损及钝化 / 损坏探针。
• 芯片尺寸：5 × 5 mm。
• 安装于 AFM 样品盘。

HS-Series AFM Calibration Standards

HS 系列用于 AFM 的 Z 轴高度校准，同时其规则结构也可以用于较大扫描范围下的 X-Y 横向校准。

标样采用二氧化硅结构制作于 5 × 5 mm 硅芯片上。结构包含不同尺寸的方形、圆形及线条图案，便于进行多尺度扫描校准。

AFM XYZ Calibration Standard

CS-20NG 是一种用于 AFM 扫描器综合校准的标样，可同时用于 X、Y 横向尺寸以及 Z 轴高度的验证。

标样集成多个不同尺度的周期结构，方便在同一块芯片上进行微米级和纳米级扫描校准。

• 10 µm pitch 校准区域。
• 5 µm pitch 校准区域。
• 500 nm pitch 纳米结构区域。
• 结构高度约 20 nm。
• 5 × 5 mm 硅芯片。

KPFM-EFM Calibration Standard

#629 该标样用于 Kelvin Probe Force Microscopy（KPFM）以及 Electrostatic Force Microscopy（EFM）等 AFM 电学测试模式。

标样采用不同材料的导线结构形成周期阵列，可用于测试扫描探针显微镜对表面电势及静电信号的响应。

• 8 µm pitch
• 20 µm pitch
• 40 µm pitch
• 适用于 KPFM / EFM 等电学模式

安装版 KPFM / EFM 标样

#629-AFM 为安装在AFM金属圆片的版本，便于直接放入相应 AFM / SPM 系统中使用。