AuSomeSEM、FIB 和 FESEM 分辨率标样

AuSome™ 是一种用于纳米尺度成像与测量的高分辨率测试标样，将分辨率测试与尺寸校准结合于同一标样中。
标样采用尺寸已知且分布均匀的金纳米颗粒，并沉积在平整的硅片基底上，可用于 SEM、FIB 和 FESEM 的高倍率成像性能检查，以及低于 100 nm 尺度的尺寸测量与校准。

已知的颗粒尺寸和较好的尺寸均匀性，可以帮助判断显微镜的聚焦、像散校正、工作距离以及高倍率成像能力。
AuSome™ 提供双尺寸和单尺寸金纳米颗粒版本，可根据仪器分辨率范围和测试需求选择。

AuSome™ 产品系列

682｜117.3 / 27.3 nm 双尺寸金纳米颗粒分辨率与校准标样

682 标样在硅基底上包含两种尺寸的金纳米颗粒，可同时用于较大尺度颗粒的聚焦与像散调整，以及更小颗粒的高倍率分辨率检查。

117.3 nm 金颗粒中既有单颗粒，也存在较大的颗粒聚集体。较大的聚集体可覆盖微米级区域，在较低倍率下容易找到，因而适合用于初始聚焦和像散调整；较小的 117.3 nm 颗粒团簇可用于亚微米尺度的分辨率和尺寸校准。
27.3 nm 金纳米颗粒则主要用于高倍率分辨率检查。

金纳米颗粒在基底的大部分区域形成连续的纳米颗粒层，颗粒尺寸和颗粒间距具有较好的均匀性；样品边缘和角部区域的颗粒密度相对较高。

680｜38 nm 金纳米颗粒 SEM 高分辨率标样

680 为单一尺寸金纳米颗粒标样，颗粒尺寸为 38 ± 4 nm，适用于 SEM 和 FESEM 的高倍率分辨率检查。
38 nm 金颗粒通常具有较高的颗粒密度，可在高倍率下提供较容易识别的分辨率测试目标。

680 在硅片大部分区域形成连续的金纳米颗粒层，颗粒尺寸及颗粒间距较为均匀，边缘和角部区域的颗粒密度较高。

681｜27.3 nm 金纳米颗粒 FESEM 高分辨率标样

681 采用单一尺寸的金纳米颗粒，颗粒尺寸为 27.3 nm，标准偏差为 6.3 nm。
该标样用于高倍率分辨率检查，尤其适合 FESEM 在更高放大倍率下进行成像性能评估。

与 680 相同，681 的金纳米颗粒在基底大部分区域形成连续颗粒层，并具有较均匀的颗粒尺寸和颗粒间距。

标样结构与安装形式

AuSome™ 金纳米颗粒均匀沉积在平整的 5 × 5 mm 硅片上，硅片厚度为 0.5 mm（Ted Pella 产品编号 #16008）。
根据使用设备不同，可选择未安装版本或安装在 SEM 样品台上的版本。

682、680 和 681 系列均提供未安装标样，并可选择不同形式的 SEM 样品台预先安装在上面，具体样品台型号包括 A–Q，

SEM / FESEM 使用方法

为获得最佳成像效果，不同 SEM 的工作距离和加速电压需要根据具体仪器进行调整。
使用时建议从较低倍率开始，在逐级提高倍率的过程中持续进行聚焦和像散校正。

对于较小的金纳米颗粒，准确的像散校正尤其重要。约 100 nm 的金颗粒在部分仪器上可从约 4000×的倍率开始观察。

对于 680 和 681 单尺寸标样，可以首先寻找金颗粒聚集较多的边缘区域进行聚焦和像散校正，然后移动到颗粒分布较均匀的区域进行观察和测量。通常需要使用 100,000× 或更高倍率。

产品对比

产品型号

682 系列：682、682-A、682-B、682-C、682-D、682-E、682-F、682-G、682-K、682-L、682-M、682-O、682-P、682-Q、682-R

680 系列：680、680-A、680-B、680-C、680-D、680-E、680-F、680-G、680-K、680-L、680-M、680-O、680-P、680-Q、680-R

681 系列：681、681-A、681-B、681-C、681-D、681-E、681-F、681-G、681-K、681-L、681-M、681-O、681-P、681-Q、681-R