描述
Pelcotec™ CDMS-XY 标样是一种用于扫描电镜、场发射扫描电镜、离子束雕刻、CD-SEM、激光扫描显微镜和原子力显微镜快速、精确校准的便捷工具。该标样提供了 X 和 Y 两个坐标轴的比例尺线，可在不旋转样品台的情况下轻松进行二维校准。
Pelcotec™ CDMS-XY 标样使用最新的半导体和微电子制造技术制成，具有卓越的线缘质量，可提供广泛的测量范围。
该标样有两种特征尺寸范围可选，分别是 Pelcotec™ CDMS-XY-1T 和 Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T ，每个尺寸范围都提供可追溯和认证标样，总共有四种：
Pelcotec™ CDMS-XY-1T ：特征尺寸范围为 2.0mm 到 1um，适用于放大倍率在 10x – 20,000x 之间的台式扫描电镜和低到中等放大应用。
| 产品编号 | 描述 | 单位 |
|---|---|---|
| 684-1 | Pelcotec™ CDMS-XY-1T ，2mm – 1µm，可追溯，没有样品座 | 个 |
Pelcotec™ CDMS-XY-1C ：每个标样均根据 NIST 标准进行了单独认证，特征尺寸范围为 2.0mm 到 1µm，适用于放大倍率在 10x – 20,000x 之间的台式扫描电镜和低到中等放大应用。
| 产品编号 | 描述 | 单位 |
|---|---|---|
| 689-1 | Pelcotec™ CDMS-XY-1C ，2mm – 1µm，已认证，没有样品座 | 个 |
Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T ：特征尺寸范围为 2.0mm 到 100nm，适用于所有扫描电镜和大多数场发射扫描电镜应用，放大倍率可达 10 – 200,000x。
| 产品编号 | 描述 | 单位 |
|---|---|---|
| 685-1 | Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T ，2mm – 100nm，可溯源，没有样品座 | 个 |
Pelcotec™ CDMS-XY-0.1C ：每个标样均根据 NIST 标准进行了单独认证，特征尺寸范围为 2.0mm 到 100nm，适用于所有扫描电镜和大多数场发射扫描电镜应用，放大倍率可达 10 – 200,000x。
| 产品编号 | 描述 | 单位 |
|---|---|---|
| 690-01 | Pelcotec™ CDMS-XY-0.1C ，2mm – 100nm，已认证，没有样品座 | 个 |
该标样的特征尺寸范围见下表：
Pelcotec™ CDMS-XY-1T 和 -1C 的特征尺寸为：
2mm、1mm、0.5mm、0.1mm、50µm、10µm、5µm、2µm 和 1µm。
Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T 和 0.1C 的特征尺寸为：
2mm、1mm、0.5mm、0.1mm、50µm、10µm、5µm、2µm 和 1µm、500nm、250nm 和 100nm。
可选的预先安装在样品座上。
| Pelcotec™ CDMS-XY-1 | Pelcotec™ CDMS-XY-0.1 | |
| 基底尺寸：2.5×2.5mm | ✓ | ✓ |
| 基底厚度：525±10μm | ✓ | ✓ |
| 唯一序列识别号 | ✓ | ✓ |
| 2mm、1mm、0.5mm 的校准方块 | ✓ | ✓ |
| 垂直于 X 轴和 Y 轴的刻度线，间距为 10um、5μm、2μm 和 1μm | ✓ | ✓ |
| 仅限高分辨率版本 – 垂直于 X 和 Y 轴的附加刻度线以 500、250 和 100 nm 节距标出 | — | ✓ |
| 特征材料：50nm Cr (2mm – 5µm) | ✓ | ✓ |
| 特征材料：20nm Cr/50nm Au（2μm 和 1μm） | ✓ | ✓ |
| 特征材料：20nm Cr/50nm Au（500、250 和 100nm） | — | ✓ |
| 可在晶圆级追溯到 NIST | T 版本 | T 版本 |
| CDMS 标样直接获得 NIST 标准认证 | C版本 | C版本 |
| 不含样品台 | ✓ | ✓ |
| 可安装于SEM样品台 | ✓ | ✓ |
| 精度优于0.3% | ✓ | ✓ |
