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Pelcotec线宽标样CDMS – XY ISO特征尺寸放大标样

Pelcotec™ CDMS-XY ISO标样是一种用于扫描电镜、场发射扫描电镜、离子束雕刻、CD-SEM、激光扫描显微镜和原子力显微镜快速、精确校准的便捷工具。该标样提供了 X 和 Y 两个坐标轴的比例尺线,可在不旋转样品台的情况下轻松进行二维校准。

描述

ISO

符合ISO 17025:2017标准的CDMS产品。NIST标准的可追溯性或单独认证有证书。

Pelcotec™ CDMS-XY ISO标样是一种用于扫描电镜、场发射扫描电镜、离子束雕刻、CD-SEM、激光扫描显微镜和原子力显微镜快速、精确校准的便捷工具。该标样提供了 X 和 Y 两个坐标轴的比例尺线,可在不旋转样品台的情况下轻松进行二维校准。

Pelcotec™ CDMS-XY ISO标样使用最新的半导体和微电子制造技术制成,具有卓越的线缘质量,可提供广泛的测量范围。

该标样有两种特征尺寸范围可选,分别是 Pelcotec™ CDMS-XY-1T ISO和 Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T ISO,每个尺寸范围都提供可追溯和认证标样,总共有四种:

Pelcotec™ CDMS-XY-1T ISO:特征尺寸范围为 2.0mm 到 1um,适用于放大倍率在 10x – 20,000x 之间的台式扫描电镜和低到中等放大应用。

PELCO CDMS-1T AND 1C

产品编号描述单位
693-1Pelcotec™ CDMS-XY-1T ISO,2mm – 1µm,可追溯,没有样品座

Pelcotec™ CDMS-XY-1C ISO:每个标样均根据 NIST 标准进行了单独认证,特征尺寸范围为 2.0mm 到 1µm,适用于放大倍率在 10x – 20,000x 之间的台式扫描电镜和低到中等放大应用。

产品编号描述单位
697-1Pelcotec™ CDMS-XY-1C ISO,2mm – 1µm,已认证,没有样品座

Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T ISO:特征尺寸范围为 2.0mm 到 100nm,适用于所有扫描电镜和大多数场发射扫描电镜应用,放大倍率可达 10 – 200,000x。

PELCO CDMS-1T AND 1C

产品编号描述单位
694-1Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T ISO,2mm – 100nm,可溯源,没有样品座

 

Pelcotec™ CDMS-XY-0.1C ISO:每个标样均根据 NIST 标准进行了单独认证,特征尺寸范围为 2.0mm 到 100nm,适用于所有扫描电镜和大多数场发射扫描电镜应用,放大倍率可达 10 – 200,000x。

产品编号描述单位
698-01Pelcotec™ CDMS-XY-0.1C ISO,2mm – 100nm,已认证,没有样品座

该标样的特征尺寸范围见下表:

Pelcotec™ CDMS-XY-1T ISO 和 -1C ISO 的特征尺寸为:

2mm、1mm、0.5mm、0.1mm、50µm、10µm、5µm、2µm 和 1µm。

Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T ISO 和 0.1C ISO 的特征尺寸为:

2mm、1mm、0.5mm、0.1mm、50µm、10µm、5µm、2µm 和 1µm、500nm、250nm 和 100nm。

可选的预先安装在样品座上。

 

Pelcotec™ CDMS-XY-1-ISOPelcotec™ CDMS-XY-0.1-ISO
基底尺寸:2.5×2.5mm
基底厚度:525±10μm
唯一序列识别号
2mm、1mm、0.5mm 的校准方块
垂直于 X 轴和 Y 轴的刻度线,间距为 10um、5μm、2μm 和 1μm
仅限高分辨率版本 – 垂直于 X 和 Y 轴的附加刻度线以 500、250 和 100 nm 节距标出
特征材料:50nm Cr (2mm – 5µm)
特征材料:20nm Cr/50nm Au(2μm 和 1μm)
特征材料:20nm Cr/50nm Au(500、250 和 100nm)
可在晶圆级追溯到 NIST(ISO 17025:2017 认证标准)T 版本T 版本
CDMS 标样直接获得 NIST 标准认证(ISO 17025:2017 认证标准)C版本C版本
不含样品座
可安装于SEM样品台
精度优于0.3%

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