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作者:孙千 本文转载自公众号:老千和他的朋友们。原文地址:https://mp.weixin.qq.com/s/TX5pZgg2m6HSRrMhiAX8Hg

对于透射电镜(TEM)技术员而言,日常工作中最棘手的挑战莫过于束敏感样品的成像——生物切片、软材料、钙钛矿这类样品,稍高的电子剂量就会导致结构坍塌,可剂量太低又无法获取清晰的相位信息。

长期以来,泽尼克相差法(ZPC)一直是 TEM 技术员处理这类样品的标配方案,但实际操作中,低剂量下成像模糊、电子剂量莫名浪费的问题始终困扰着一线工作者。

泽尼克相差法(ZPC)的原理:相干电子波照射样品后,会分裂为穿透样品的直射波(低频成分)和被散射的衍射波(高频成分)。在物镜后焦平面放置泽尼克相位板(ZPP),仅对直射波施加 π/2 的相位偏移,让两束波形成固定相位差,最终在像平面干涉叠加,把原本无法直接探测的相位差异,转化为清晰的明暗对比图像。

Francisco Vega IbáñezJo Verbeeck团队的研究给出了明确答案,通过数值模拟验证了随机相位照明(RPI)衍射法的显著优势,不仅点破了 ZPC的归一化 “坑点,更实现了5倍剂量效率提升,对TEM 技术员的日常实操和样品保护极具指导意义。

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一、实操痛点与实验设计:技术员核心需求

TEM 技术员在处理低密度、束敏感样品时早已发现,仪器分辨率早已不是瓶颈,真正制约成像质量的是束损伤。电子剂量稍高,样品结构就会不可逆损坏;剂量过低,相位信息又难以提取,这种两难局面让不少珍贵样品白白损耗。

传统 ZPC 虽然操作简便,但其实际剂量利用率一直不尽如人意,TEM 技术员却苦于没有更优的替代方案。该研究正是针对这一实操痛点,通过对比两种可直接落地的成像方案,为 TEM 技术员提供了清晰的参数优化方向和操作思路。

研究将实验过程简化为 “用最少电子获取最准相位信息” 的日常场景,对比了 TEM 技术员熟悉的 ZPC 与创新的 RPI 衍射法。

ZPC的核心操作是在物镜后焦平面放置相位板,将低频成分偏移 π/2 后直接成像,无需复杂后处理,上手简单,但实际使用中 TEM 技术员常感觉剂量不够用;而 RPI 衍射法需要在衍射平面记录强度,预设多组随机照明模式,再通过软件逆推相位,虽然多了几步设置,但剂量利用效率大幅提升。

值得一提的是,研究特意避开了复杂的理论推导,聚焦 TEM 技术员最关心的电子剂量分配、参数设置、成像效率等实操问题,实验装置示意图(图 1)也清晰展示了两种方案的核心差异,易于 TEM 技术员理解和借鉴。

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 1 实验装置示意图。目的是通过相干电子波照射未知物体,并利用由 M 个独立像素组成的理想探测器检测电子到达情况,以测量物体的 N 个相位。左侧装置为理想泽尼克相位板(ZPP)配置,右侧装置描述了在衍射平面中使用可编程输入波的探测方式。研究将对比两种装置在不同实验电子剂量下的相位估计误差,实操中 TEM 技术员可根据样品类型灵活选择配置,束敏感样品优先考虑右侧 RPI 方案。

 

二、关键参数与算法实操:落地的优化方案

(一)ZPC  “归一化坑点

TEM 技术员日常使用 ZPC 时,常遇到 “低剂量下成像模糊,调高剂量也没明显改善” 的情况,研究发现问题根源在于归一化参数设置的误区。此前,行业内普遍默认把归一化参数 C 设为 1,却未意识到这一设置会导致照明区域内的低频信息丢失,而且需要利用视场外部的电子形成参考波 —— 这不仅浪费大量电子剂量,还可能损伤样品的非目标区域,后续想复用这些区域都无法实现。

经研究验证,C=1/2 才是实操中的最优值,该数值能在不产生额外参考波的前提下,完整恢复照明区域内的所有空间频率,相位误差标准差比传统的 C=1 设置低√10≈3.16 倍,成像精度直接提升一个档次。

这里有个重要的实操提醒:TEM 技术员设置 ZPC 参数时,一定要让相位板宽度与照明束斑尺寸匹配,否则即便调对了C值,也会出现剂量浪费和信息丢失的问题,不少一线技术员都曾在这一细节上吃亏。

(二)RPI 衍射法的实操核心

部分 TEM 技术员可能认为 RPI 衍射法需要设置多组照明模式,操作起来会很复杂,但实际熟悉后会发现其逻辑清晰,且软件算法已能满足日常使用需求。照明模式设置方面,研究建议选择 NRPI≥2 组随机相位照明,日常默认 16 组即可,每组照明相位服从 0  π 的均匀分布,收敛效果最好;若想尝试其他模式,比如每组仅单个像素的相位在−π/2  +π/2 之间随机变化,或者采用阿达马基集,实操效果也相近,无需过分纠结。

算法选择上,TEM 技术员日常批量处理样品时,优先选用格尔希伯格 – 萨克斯顿(GS)算法,其计算速度快,且相位误差与精准的最大似然(ML)算法高度吻合,完全能满足 64×64 像素这类实际尺寸样品的处理需求;如果是开展单颗粒分析这类对精度要求极高的实验,再选用 ML 算法,虽然耗时久一点,但能逼近最佳精度上限(即克拉美罗下界 CRLB),实操中还能通过 CRLB 判断成像效果是否达标。

具体操作步骤也较为简便:先初始化样品相位猜测值,振幅设为 1,相位在 ±π 之间随机分布;再按预设的照明模式照射样品,记录衍射强度;随后让软件迭代施加衍射约束,再反向传播至实空间;最后对多组照明结果取平均,减少伪影,即可输出清晰的相位图像,整个流程与 TEM 技术员日常处理常规样品的思路大同小异。

三、数值实验结果:指导日常样品成像

研究的三组数值实验结果,完全对应 TEM 技术员日常遇到的不同样品场景,实操参考价值极高。

首先是一维实验(个相位值),处理薄膜切片这类简单结构样品时,低剂量下(Ne<10⁴ZPC  RPI 性能相近,TEM 技术员可任意选择;但电子剂量超过 10⁴后,ZPC 会因为公式线性化极限出现系统误差,成像开始模糊,此时换成 RPI 就能稳定出图(图 2)。而且实验还验证了 GS-RPI  ML-RPI 性能几乎一致,TEM 技术员日常工作用 GS 算法完全够用,无需浪费时间在复杂算法上。

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 2 平均均方根(RMS)相位误差随总电子剂量变化的数值模拟。该物体为随机相位物体,含 4 个未知相位值,相位范围限制在 ±π/10 以内,这也是 TEM 技术员判断弱相位物体的实操标准。对于每个电子剂量,研究使用不同的随机物体重复模拟 100 次,随机相位照明(RPI)采用 16 种固定的随机照明模式。实操参考明确:电子剂量约为 Ne=10⁴之前,两种方法均可选用;超过该剂量,优先用 RPI 避免系统误差;GS-RPI  ML-RPI 性能接近,日常工作中 TEM 技术员用 GS 算法即可满足需求。

 

处理病毒颗粒、纳米晶体这类小尺寸、高敏感样品时,RPI 的优势更为明显,小型二维实验(4×4 像素)结果显示,其剂量效率比 ZPC  5 倍,这意味着相同成像质量下,RPI 所需的电子剂量仅为 ZPC  1/5,能极大减少样品损伤(图 3)。此前,TEM 技术员处理珍贵的病毒样品时,常担心剂量不够导致成像模糊,剂量太高又会损坏样品,如今 RPI 方案的出现,让这一难题迎刃而解。

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 3 4×4 相位物体的数值模拟。每个电子剂量下,物体包含 100 种不同的随机相位噪声实现,相位范围为 ±π/10。电子剂量均匀分配至 16 种随机相位照明模式。实操提醒:由于归一化修正,ZPCRPI 的结果差异显著;TEM 技术员处理小尺寸束敏感样品时,优先选用 RPI,既能保护样品不被过量电子损伤,又能快速获得清晰的相位图,效率大幅提升。

 

TEM 技术员日常处理的生物切片、聚合物薄膜等多数样品,尺寸都接近 64×64 像素,这类样品的成像关键技巧在实际二维实验结果中体现得十分清楚(图 4)。低剂量时(Ne<10⁶),ZPC  RPI 都会出现误差平台期,需要特别注意的是,这并非成像变好,而是相位截断或包裹导致的伪影,TEM 技术员一定要避开这个剂量区间;如果确实需要低剂量成像,RPI 建议选 NRPI=2,避免每组照明剂量过低影响效果;高剂量下,RPI 的相位误差比 ZPC √5 倍,而且没有 ZPC 的剂量浪费问题,批量成像时优先选 RPI 准没错。

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 4 64×64 随机相位物体的均方根(RMS)相位误差(相位范围为 π/10),采用 NRPI=21664 种照明模式。实操要点明确:一是低剂量时(Ne<10⁶),ZPC  RPI 均会出现误差平台期,这是伪影而非优质成像,需避开该剂量区间;二是低剂量成像时,RPI 建议选 NRPI=2,确保每组照明有足够剂量;三是高剂量下,RPI 相位误差比 ZPC √5 倍,且无剂量浪费,TEM 技术员批量成像时优先选用 RPI

 

摄影师” 物体的成像对比(图 5)更直观地展示了两种方案的实操差异:ZPC 的有效剂量仅占 5/8,其余 3/8 都浪费在照明区域外(图 6),而 RPI 的剂量全用于有效成像,低剂量下也能保留更多样品细节。这对 TEM 技术员处理稀有生物样本、新型材料样品这类珍贵样品来说至关重要,每一丝剂量都需用在刀刃上,避免不必要的浪费和损伤。

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 5 泽尼克相差法(ZPC)与格尔希伯格 – 萨克斯顿(GS– 随机相位照明(RPI)在更接近实际的二维物体上的相位恢复对比(随剂量变化)。高剂量下,两种方法均能有效恢复物体。上排标记为的图像未遵循色标缩放,以辅助可视化。实操观察:低剂量下 ZPC 未探测到电子的区域呈平坦相位,没有任何有效信息;RPI 虽有轻微相位包裹,但仍能识别物体轮廓,更适合低剂量保样成像,尤其适合 TEM 技术员处理珍贵样品。

 

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 6 64×64 随机相位物体的正确采样泽尼克相差法(ZPC)图像示例(零填充至 128×128Ne=5×10⁵)。中心 64×64 区域包含实际的相位相关图像,占物体照明总剂量的 5/8;其余 3/8 的剂量落在中心区域之外,未提供任何有用信息。实操警示:ZPC 的剂量浪费问题是客观存在的,TEM 技术员处理稀缺、不可再生的样品时,一定要谨慎选择,能不用就不用,优先考虑 RPI 方案。

 

四、实操难点与解决方案

研究也指出了两种方法的实操难点,结合 TEM 技术员的日常工作经验,可整理出一套切实可行的应对方案。先看 ZPC,其核心问题集中在相位板精度和尺寸匹配上。理想的艾里斑状泽尼克相位分布很难实现,而且实际相位偏移可能偏离 π/2,这就需要 TEM 技术员定期校准相位板,用已知相位的薄膜作为标准样品验证偏移精度,发现偏差及时调整;另外,照明束斑大小变化时,相位板宽度要同步调整,否则会丢失低频信息,TEM 技术员可建立一份束斑尺寸– 相位板宽度对应表,更换样品或调整束斑后直接查表设置,无需每次都重新摸索。

再看 RPI,其主要问题是可编程相位板的填充因子限制,实际使用中会引入振幅调制,导致照明不均匀。解决这一问题的办法较为简便,采用叠层成像方式扫描探针,让探针位置适度重叠,就能确保样品所有区域都能被均匀照明;还有个常见问题是多组照明过程中样品容易出现污染或漂移,影响成像一致性,TEM 技术员可在成像前对样品进行等离子清洗,减少污染,同时启用样品台稳定系统,在每组照明间隔内进行漂移校正,保证成像质量稳定。

剂量分配方面,研究也有几个实操技巧可供 TEM 技术员参考:一是遵循 “1/√(Ne/N)” 趋势,电子剂量与相位误差成反比,实操中可根据样品能承受的最大剂量,结合这一趋势估算最佳成像效果;二是务必避开低剂量平台期,通过预实验确定样品的 “安全剂量区间,既不浪费剂量,也避免伪影影响结果;三是处理珍贵样品时优先用 RPI,相同成像质量下能减少 80% 的电子剂量,极大降低样品损伤风险。

五、重新定义低剂量成像方案

 TEM 技术员而言,这项研究的价值不在于复杂的理论推导,而在于提供了可直接落地的优化方案,改变了行业对低剂量成像的认知。此前,TEM 技术员普遍认为 ZPC 是低剂量成像的 “终极方案,如今研究证实,ZPC 的归一化参数设置错误导致了剂量浪费,即便修正参数后,其性能仍不及 RPI 衍射法。

日常工作中,TEM 技术员可根据样品类型灵活选择方案:处理束敏感样品,尤其是珍贵、不可再生的样品时,优先选用 RPI 衍射法,倍剂量效率提升能显著保护样品,而且 GS 算法的快速性完全满足日常批量成像需求;如果是常规筛查样品,对操作简便性要求高,可选用修正参数(C=1/2)后的 ZPC,但要接受它剂量浪费的短板。

更值得期待的是,RPI 衍射法无需复杂的投影系统和图像校正器,未来可能发展出小型化、低成本的桌面式 TEM,专门用于束敏感样品成像,这会大大简化 TEM 技术员的操作流程,降低实验门槛。

总而言之,这项研究为 TEM 技术员提供了 “少用电子、多拿信息、保护样品” 的实操路径 —— 调整 ZPC 的归一化参数能立竿见影提升效果,而 RPI 衍射法则为高要求样品成像提供了更优选择。在日常工作中,TEM 技术员可根据样品的束敏感程度、尺寸大小和珍贵程度灵活选用方案,在保护样品的同时,获得更精准的相位信息,让每一次 TEM 实验都能发挥最大价值。

参考资料 Retrieval of Phase Information from Low-Dose Electron Microscopy Experiments: Are We at the Limit Yet?

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