SEM扫描电镜钉形晶圆样品台

描述

适用于平边晶圆的钉形晶圆样品台；1-6英寸

我们提供六种规格的晶圆样品台，适配直径1英寸至6英寸的晶圆。样品台由铝材加工而成，配有黄铜压夹。每款样品台均包含两个固定压夹和一个弹簧夹，可牢固地将晶圆固定在样品台上。除5英寸规格外，其余样品台均设计有便于取放晶圆的开口。1英寸晶圆样品台采用两个固定锥形头和一个带弹簧的锥形头来夹持晶圆。

可用直径（六种）：25毫米 (1″)；51毫米 (2″)；76毫米 (3″)；100毫米 (4″)；127毫米 (5″)；150毫米 (6″)

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‍所用螺丝规格：

• (15388-P): 4-40 x 1/4 不锈钢平头螺丝, 4-40 x 1/4 不锈钢盘头螺丝
• (15390-P, 15369-P, 15389-P): 1-72 x 1/8 不锈钢盘头螺丝, 4-40 x 1/4 不锈钢平头螺丝
• (15382-P): 1-72 x 1/8 不锈钢盘头螺丝, 4-40 x 1/4 及 4-40 x 3/8 不锈钢平头螺丝

适用于缺口晶圆的钉形晶圆样品台；4-12英寸

我们提供适配4英寸、6英寸、8英寸及12英寸缺口晶圆的专用样品台。样品台由铝材加工而成，配有黄铜压夹。每款样品台均包含两个固定压夹、一个缺口定位销以及一个与定位销相对的弹簧夹，用以稳固地夹持晶圆。

所用螺丝规格：

• (15393-P): 1-72 x 1/8 不锈钢盘头螺丝, 4-40 x 1/4 不锈钢平头螺丝
• (15391-P, 15394-P, 15395-P): 1-72 x 1/8 不锈钢盘头螺丝, 4-40 x 1/4 及 4-40 x 3/8 不锈钢平头螺丝