二维阵列标样用于扫描探针显微镜及其他高分辨率表面分析设备的水平面纳米级尺寸校准。
其二维阵列结构可用于 X、Y 两个方向的同时校准，并提供 144nm 和 300nm 两种周期规格，适用于 AFM、STM、SEM、Auger 和 FIB 等设备。
标样图案覆盖整个芯片表面，因此具有较大的可用测量区域，可进行大量重复测量，而无需反复使用已经受到扫描或污染影响的区域。
01｜144nm 超高分辨率二维阵列标样
适用设备：AFM、STM、Auger、FIB、SEM
产品特点
144nm 二维阵列标样采用硅基底上的铝凸点阵列结构，提供精确的纳米级周期参考。
二维阵列能够同时用于 X、Y 轴校准，是高分辨率水平尺寸校准的实用标样。
| 周期 | 144nm，二维阵列；精度 ±1nm，实际周期以校准证书为准 |
|---|---|
| 表面结构 | 硅基底上的铝凸点 |
| 芯片尺寸 | 4 × 3mm |
| 凸点高度 | 约 90nm，未校准 |
| 凸点宽度 | 约 75nm，未校准 |
| 可用区域 | 图案覆盖整个芯片，可进行数万次测量，无需重复使用已经受到扫描或污染影响的区域 |
AFM 应用
可用于接触模式、间歇接触模式（TappingMode）及其他 AFM 模式，适用图像尺寸约为250nm–10µm。可提供未装载版本，也可安装在 12mm AFM圆片上。
Tapping Mode，3µm AFM 扫描
Contact Mode，5µm AFM 扫描
在接触模式下使用 0.5N/m SiN 悬臂进行扫描时，原厂未观察到会影响成像的明显样品表面或探针磨损。
二维阵列结构的使用优势
- 二维阵列可同时用于 X、Y 两个方向的校准。
- 周期远小于 500nm，适合高分辨率水平尺寸校准。
- 铝凸点阵列具有较高图像对比度，即使探针尖端略钝也能够获得清晰图像。
- 接触模式下具有较高的图像对比度。
- 图案覆盖整个芯片，无需寻找特定扫描区域。
- 结构具有较好的耐用性，可用于接触模式扫描。
SEM 应用
该标样适用于不同加速电压条件下的 SEM 测量。通常以未装载形式供应，也可以根据需要安装在相应的 SEM 样品台上。
原厂资料显示，在 100kX、10kV 条件下可以清晰观察阵列结构；在 5kX 倍率下，单个铝凸点仍能够得到良好分辨，大视野图像中缺陷数量较少。
认证版本
| Model 2D | 非可追溯制造商证书；证书给出基于批次测量得到的平均周期 |
|---|---|
| Model 2DUTC | 可追溯认证版本；每片标样单独测量，并与经德国联邦物理技术研究院（PTB）校准的同类标样进行比对。单周期值的不确定度通常为 ±1.4nm（95% 置信区间）。多周期测量可通过平均获得更高的测量精度。 |
产品编号
产品编号：16465-2D
144nm 二维阵列校准标样，未装载。
产品编号：16465-2D-AFM
144nm 二维阵列校准标样，安装于 12mm AFM圆片。
产品编号：16465-2D-A ～ 16465-2D-R
144nm 二维阵列校准标样，安装于不同规格的 SEM 样品台。具体安装形式根据 Mount A–R 选择。
产品编号：16465-2DUTC
144nm 2DUTC 可追溯二维阵列校准标样，未装载，附校准证书。
产品编号：16465-2DUTC-AFM
144nm 2DUTC 可追溯二维阵列校准标样，安装于 12mm AFM圆片，附校准证书。
产品编号：16465-2DUTC-A ～ 16465-2DUTC-R
144nm 2DUTC 可追溯二维阵列校准标样，安装于不同规格的 SEM 样品台，附校准证书。
02｜300nm 高分辨率二维阵列标样
适用设备：AFM、STEM、SEM、Auger、FIB
主要参数
| 周期 | 300nm 名义周期，二维阵列；精度 ±1nm，实际周期以校准证书为准 |
|---|---|
| 表面结构 | 硅基底上的铝凸点 |
| 芯片尺寸 | 4 × 3mm |
| 凸点高度 | 约 50nm，未校准 |
| 凸点宽度 | 约 150nm，未校准 |
| 可用区域 | 图案覆盖整个芯片，可进行数千次测量，无需重复使用已经受到扫描或污染影响的区域 |
AFM 应用
可用于接触模式、轻敲模式及其他 AFM 模式。适用图像尺寸约为 500nm–20µm。
该规格安装于 12mm AFM圆片。
SEM、Auger 与 FIB 应用
可用于较宽范围的加速电压条件，原厂给出的范围为 1–20kV，可用于约 5kX–200kX倍率范围的图像校准。可提供未装载版本，也可安装在不同规格的 SEM 样品台上。
认证
该规格提供非可追溯制造商证书，证书中的平均周期基于批次测量结果。
产品编号
产品编号：16475-1AFM
300nm 二维高分辨率 AFM 校准标样，安装于 12mm AFM圆片。
产品编号：16475-1
300nm 二维高分辨率校准标样，未装载。
产品编号：16475-1A ～ 16475-1R
300nm 二维高分辨率校准标样，安装于不同规格的 SEM 样品台。
03｜二维阵列标样的选型
两种周期的标样主要根据所需校准尺寸范围以及使用设备进行选择。
| 144nm 标样 | 适用于 AFM、STM、Auger、FIB、SEM 的高分辨率水平尺寸校准；二维阵列可同时校准 X、Y 轴，适合纳米级高分辨率测量。 |
|---|---|
| 300nm 标样 | 适用于 AFM、STEM、SEM、Auger、FIB 的高分辨率尺寸校准，并可覆盖较宽的图像倍率范围。 |
| 安装方式 | 根据设备需要，可选择未装载版本、12mm AFM圆片版本或相应 SEM 样品台安装版本。 |
| 认证方式 | 144nm 规格提供非可追溯 Model 2D 和可追溯 Model 2DUTC 两种版本；300nm 规格提供非可追溯制造商证书版本。 |
04｜技术资料与证书
可追溯 2DUTC 版本随产品提供相应校准证书。
