金颗粒沉积在碳基底上，金颗粒与碳背景之间具有较好的电子信号和图像对比度，可用于观察不同尺寸金颗粒之间的间隙，并评价仪器在实际工作条件下的分辨能力。
我们提供不同颗粒尺寸范围的金颗粒测试标样，从中等分辨率到超高分辨率均有对应规格，同时还提供针对低加速电压条件优化的版本。
标样可选择裸片或安装在不同类型的 SEM 样品台上。
金颗粒/碳基底标样的分辨率测试原理
SEM 图像的分辨能力并不能简单地用“能够看到多小的颗粒”来定义。需要将SEM 和 FIB 的图像分辨能力与空间分辨能力以及图像灰度层次的表现结合起来评价。
在金颗粒测试标样中，不同尺寸的金颗粒之间形成不同宽度的间隙。通过观察这些颗粒及间隙，可以测试仪器在实际成像条件下能够区分的细节。
同时，较大的金晶体具有明显的晶面结构，可用于观察高分辨率条件下的灰度层次再现能力。
因此，分辨率测试不仅需要观察最小可分辨结构，还应关注图像噪声、对比度以及灰度层次是否能够得到合理再现。
五种金颗粒分辨率测试标样
617 金颗粒分辨率测试标样
产品编号：617
617 是基础型金颗粒分辨率测试标样，金颗粒尺寸约为5–150 nm。标样表面具有方格状分布结构，每个方格中心区域具有较大的金晶体，而靠近方格边缘的位置分布更细小的金颗粒。
这种结构使同一个标样可以用于中等和较高分辨率的间隙测试。较大的金晶体具有明显晶面，还可以用于观察高分辨率成像时的灰度层次再现。
| 金颗粒尺寸 | 约 5–150 nm |
| 结构 | 方格状分布，大颗粒位于方格中心，较细颗粒位于方格边缘 |
| 主要用途 | SEM 分辨率测试、间隙测试以及高分辨率灰度层次评价 |
| 尺寸 | 直径 6 mm × 厚度 2 mm |
617-2 高分辨率金颗粒测试标样
产品编号：617-2
617-2 的金颗粒尺寸进一步减小，范围约为<3–50 nm，适用于高分辨率 SEM 图像质量及分辨能力的测试，尤其适合配备场发射电子源的高分辨率 SEM。
对该规格金颗粒进行清晰观察需要较高的仪器放大倍率。
| 金颗粒尺寸 | 约 <3–50 nm |
| 主要用途 | 高分辨率 SEM 图像质量及分辨率测试 |
| 适用仪器 | 高分辨率 SEM、场发射 SEM 等 |
| 尺寸 | 直径 6 mm × 厚度 2 mm |
617-3 超高分辨率金颗粒测试标样
产品编号：617-3
617-3 用于更高水平的 SEM 分辨率性能测试，金颗粒尺寸约为<2–30 nm，其金颗粒尺寸范围比 617 系列基础规格更小。
该标样特别适用于场发射 SEM 等高性能扫描电子显微镜，可在100,000× 及以上的仪器放大倍率下进行超高分辨率性能测试。
| 金颗粒尺寸 | 约 <2–30 nm |
| 主要用途 | 超高分辨率 SEM 性能测试 |
| 适用仪器 | FESEM、场发射电子源高分辨率 SEM |
| 推荐放大倍率 | 100,000× 及以上 |
| 尺寸 | 直径 6 mm × 厚度 2 mm |
617-4 低电压分辨率金颗粒测试标样
产品编号：617-4
617-4 的金颗粒尺寸范围约为30–500 nm，主要针对低加速电压条件或较老型号 SEM 的分辨率测试。
在低电压条件下，普通金颗粒分辨率标样有时较难获得清晰图像，原因可能包括低电压下的分辨能力下降，以及小束斑、高扫描速度条件下信噪比较低。
617-4 使用尺寸较大的金颗粒形成较高的图像对比度，同时保留较小的颗粒间隙，因此在非理想操作条件下更容易进行分辨率测试。
| 金颗粒尺寸 | 约 30–500 nm |
| 主要用途 | 低加速电压条件下的 SEM 分辨率测试 |
| 适用情况 | 低电压成像、较老型号 SEM 或非理想成像条件 |
| 尺寸 | 直径 6 mm × 厚度 2 mm |
623 中等分辨率金颗粒测试标样
产品编号：623
623 的金颗粒尺寸约为0.1–1 µm，颗粒尺寸较大且具有较明显的颗粒间分离结构，可用于 SEM 的中等倍率和中等分辨率测试，也可用于高倍率光学显微镜。
推荐放大倍率范围约为800–10,000×。
| 金颗粒尺寸 | 约 0.1–1 µm |
| 主要用途 | SEM 中等分辨率及高倍率光学显微镜测试 |
| 推荐放大倍率 | 约 800–10,000× |
| 尺寸 | 直径 6.4 mm × 厚度 0.7 mm |
SEM 分辨率测试的基本条件
金颗粒标样的测试结果与 SEM 本身的性能以及具体操作条件有关。针对 617 标样的基本操作建议。
| 工作距离 | 一般可采用约 7–8 mm 的较短工作距离作为测试起点 |
| 初始加速电压 | 技术资料建议可从 20 kV 或更高电压开始测试 |
| 电子枪状态 | 确保灯丝正确饱和，电子枪处于良好工作状态 |
| 放大倍率 | 金颗粒在低于约 40,000× 时较难观察；高分辨率规格需要更高倍率 |
| 倍率校准 | 进行间隙尺寸判断前，应首先确认 SEM 的倍率校准准确可靠 |
617 金颗粒标样推荐成像流程
以下流程主要用于 617 金颗粒分辨率测试标样。
- 设置 SEM，装入测试标样，并等待真空状态稳定。
- 打开电子枪，并正确调整灯丝饱和状态。
- 从低倍率开始，建议低于 150×，先聚焦于深色方格边缘，并寻找合适的金颗粒区域。
- 提高至约 500×，在金膜结构较复杂的区域进行聚焦。
- 将倍率逐渐提高至约 40,000×，同时保持样品处于聚焦状态。
- 将观察区域移动到方格内部，并仔细聚焦金颗粒。
- 将倍率提高至 80,000× 或更高，进行最终的消像散和精细聚焦调整。
- 如果 SEM 容易发生污染，应尽量快速完成最终调整，因为在较严重的污染条件下，样品表面可能在很短时间内形成污染层。
- 使用较慢的探针扫描速度记录最终图像。
如何评价 SEM 测试结果
1. 间隙分辨能力
通过观察不同尺寸金颗粒之间的间隙，判断 SEM 在当前工作条件下能够区分的细节水平。
不同规格标样具有不同的金颗粒尺寸范围，因此应根据目标仪器和测试倍率选择合适的标样。
2. 灰度层次再现
617 标样中的较大金晶体具有明显晶面结构，可以观察高分辨率图像中不同表面结构产生的灰度变化。
除了能够区分细小间隙之外，图像是否能够保持合理的灰度层次也是评价成像质量的重要方面。
3. 不要将颗粒尺寸直接等同于 SEM 分辨率
产品所标示的纳米尺寸是金颗粒的尺寸范围，并不代表该标样能够直接给出一个等于该数值的 SEM 仪器分辨率。
实际可分辨的结构还受到电子束条件、工作距离、加速电压、束流、探针尺寸、像散、信噪比、污染以及倍率校准等因素影响。
不同规格如何选择
| 623 中等分辨率 |
金颗粒约 0.1–1 µm，适合约 800–10,000× 的中等倍率测试，也适合高倍率光学显微镜。 |
| 617 常规高分辨率测试 |
金颗粒约 5–150 nm，同时包含较大晶体和细小颗粒，可进行中等及较高分辨率间隙测试，并观察灰度层次。 |
| 617-2 高分辨率 |
金颗粒约 <3–50 nm，适用于高分辨率 SEM，尤其适合场发射电子源系统。 |
| 617-3 超高分辨率 |
金颗粒约 <2–30 nm，适用于 FESEM 等高性能 SEM 的超高分辨率性能测试，推荐用于 100,000× 及以上倍率。 |
| 617-4 低电压 |
金颗粒约 30–500 nm，针对低加速电压或较老仪器等条件设计，较大的金颗粒有利于获得较高图像对比度。 |
安装形式
617、617-2、617-3、617-4 以及 623 均提供裸片和多种安装形式，可根据 SEM 样品台的使用要求选择相应规格。
具体安装形式包括 A、B、C、D、E、F、G、K、L、M、O、P、Q、R 等型号。
其中 G 型为使用者提供样品安装件的形式，具体产品编号应根据所选测试标样确认。
产品尺寸
| 617 / 617-2 / 617-3 / 617-4 | 直径 6 mm × 厚度 2 mm |
| 623 | 直径 6.4 mm × 厚度 0.7 mm |
产品型号
| 617 系列 | 617、617-A、617-B、617-C、617-D、617-E、617-F、617-G、617-K、617-L、617-M、617-O、617-P、617-Q、617-R |
| 617-2 系列 | 617-2、617-2A、617-2B、617-2C、617-2D、617-2E、617-2F、617-2G、617-2K、617-2L、617-2M、617-2O、617-2P、617-2Q、617-2R |
| 617-3 系列 | 617-3、617-3A、617-3B、617-3C、617-3D、617-3E、617-3F、617-3G、617-3K、617-3L、617-3M、617-3O、617-3P、617-3Q、617-3R |
| 617-4 系列 | 617-4、617-4A、617-4B、617-4C、617-4D、617-4E、617-4F、617-4G、617-4K、617-4L、617-4M、617-4O、617-4P、617-4Q、617-4R |
| 623 系列 | 623、623-A、623-B、623-C、623-D、623-E、623-F、623-G、623-K、623-L、623-M、623-O、623-P、623-Q、623-R |
保存建议
为减少污染对测试标样表面的影响，建议将标样存放于真空干燥器中。
