描述
符合ISO 17025:2017标准的CDMS产品。NIST标准的可追溯性或单独认证有证书。
Pelcotec™ CDMS ISO校准标样是一种独特的经济实惠、功能齐全、可追溯的校准标样，可用于快速精准的扫描电镜(SEM)、场发射扫描电镜(FESEM)、离子束刻蚀(FIB)、CD-SEM、LM和AFM放大倍数校准。这些标样采用最新的半导体和微机电系统(MEMS)制造技术制成，可以覆盖广泛的测量范围。
Pelcotec™ CDMS ISO校准标样有两种特征尺寸范围，分别是 Pelcotec™ CDMS-1T ISO和 Pelcotec™ CDMS-0.1T ISO，都提供可追溯和认证标样，共有4个种：
Pelcotec™ CDMS-1T ISO: 可追溯，特征尺寸范围为2.0毫米到1微米，放大倍数范围为10倍到20,000倍，非常适合台式扫描电镜和低到中等放大应用。
| 产品编号 | 描述 | 单位 |
|---|---|---|
| 691-1 | Pelcotec™ CDMS-1T ISO，2mm – 1µm，可追溯，没有样品台 | 个 |
Pelcotec™ CDMS-1C ISO: 经过NIST标样认证的特征尺寸范围为2.0毫米到1微米，放大倍数范围为10倍到20,000倍，非常适合台式扫描电镜和低到中等放大应用。
| 产品编号 | 描述 | 单位 |
|---|---|---|
| 695-1 | Pelcotec™ CDMS-1C ISO，2mm – 1µm，经过认证，没有样品台 | 个 |
Pelcotec™ CDMS-0.1T ISO: 可追溯，特征尺寸范围为2.0毫米到100纳米，放大倍数范围高达10倍到200,000倍，适用于所有扫描电镜和大多数场发射扫描电镜应用。
| 产品编号 | 描述 | 单位 |
|---|---|---|
| 692-01 | Pelcotec™ CDMS-0.1T ISO，2mm – 100nm，可追溯，没有样品台 | 个 |
Pelcotec™ CDMS-0.1C ISO: 经过NIST标样认证的特征尺寸范围为2.0毫米到100纳米，放大倍数范围高达10倍到200,000倍，适用于所有扫描电镜和大多数场发射扫描电镜应用。
| 产品编号 | 描述 | 单位 |
|---|---|---|
| 696-01 | Pelcotec™ CDMS-0.1T ISO，2mm – 100nm，经认证，没有样品台 | 个 |
Pelcotec™ CDMS ISO标样的特征尺寸范围为2mm、1mm、0.5mm、0.25mm、10µm、5µm、2µm和1µm（适用于 Pelcotec™ CDMS-1T ISO 和 Pelcotec™ CDMS-1C ISO）。而Pelcotec™ CDMS-0.1T ISO 和 0.1C ISO 的特征尺寸范围为2mm、1mm、0.5mm、0.25mm、10µm、5µm、2µm、1µm、500nm、250nm和100nm。
Pelcotec™ CDMS ISO标样采用超平整的硅衬底制成，采用精密的50nm铬沉积技术制造特征尺寸小于5µm的部分，而采用50nm金/20nm铬的组合制造2µm到100nm的特征尺寸。铬和金/铬在硅基底上提供了卓越的SE和BSE成像模式对比度，比刻蚀硅标样更易于确定特征。由于硅衬底、铬和铬/金特征都具有导电性，因此该校准标样不存在充电问题。由于其坚固的结构，CDMS标样可使用等离子体清洗器进行清洁。
较小的特征尺寸被嵌套在一起，以便于导航和快速校准。特征的精度为0.3%或更高。标样的实际尺寸为2.5 x 2.5mm，厚度为525µm ±10µm，在硅表面上没有涂层。每个Pelcotec™ CDMS ISO校准标样都有一个独特的识别编号。
Pelcotec™ CDMS ISO校准标样可供选择不安装或安装在SEM样品台A-R上。对于AFM应用，Pelcotec™ CDMS ISO安装在12mm的AFM圆片上，而对于LM应用，则安装在25 x 75mm的载玻片上。也可以制备在自定义的支架上。
可选的样品座。
| Pelcotec™ CDMS-1-ISO | Pelcotec™ CDMS-0.1-ISO | |
| 基底：硅 | ✓ | ✓ |
| 基底尺寸：2.5×2.5mm | ✓ | ✓ |
| 基底厚度：525±10μm | ✓ | ✓ |
| 唯一序列识别号 | ✓ | ✓ |
| 2mm、1mm、0.5mm、0.25mm 的校准方块 | ✓ | ✓ |
| 垂直于 X 轴的刻度线，间距为 10μm、5μm、2μm 和 1μm | ✓ | ✓ |
| 仅高分辨率版本 – 垂直于 X 轴的附加刻度线以 500、250 和 100 nm 节距标出 | — | ✓ |
| 特征材料：50nm Cr (2mm – 5µm) | ✓ | ✓ |
| 特征材料：20nm Cr/50nm Au（2μm 和 1μm） | ✓ | ✓ |
| 特征材料：20nm Cr/50nm Au（500、250 和 100nm） | — | ✓ |
| 可在晶圆级追溯到 NIST（ISO 17025:2017 认证标准） | T 版本 | T 版本 |
| CDMS 标样直接获得 NIST 标准认证（ISO 17025:2017 认证标准） | C版本 | C版本 |
| 不含样品台 | ✓ | ✓ |
| 可安装在 SEM样品台上 | ✓ | ✓ |
| 精度优于0.3% | ✓ | ✓ |
