关键尺寸（CD）校准测试标样适用于扫描电子显微镜（SEM）/聚焦离子束系统（FIB）的放大倍率校准，也可用于原子力显微镜（AFM）。
618-5 系列：10-5-2-1-0.5µm 结构
该标样为 4.8 × 4.8mm 硅标样，边缘设有一圈边长 480µm 的定位图案，便于确定方向。目前提供三个版本。
标样包含 5 组线条图案，每组按其间距明确标识。每组图案由 5 条线条与等间距的间隙组成，间距分别为 10.0µm、5.0µm、2.0µm、1.0µm 和 0.5µm。中央线条区域可用于 AFM 测量。图案刻蚀入硅，深度约 200nm，硅表面无镀层。
提供两个版本：非认证版；PTB 认证版——经德国联邦物理技术研究院认证，逐件编号。
准确度与均匀性
| 图案尺寸 | 10µm | 5µm | 2µm | 1µm | 0.5µm |
| 准确度 | 0.20% | 0.22% | 0.35% | 0.56% | 0.78% |
| 均匀性 | 0.27% | 0.34% | 0.53% | 0.80% | 1.2% |
产品型号
| 618-5 | 10-5-2-1-0.5µm 结构标样，非认证版，未安装 |
| 618-7 | 10-5-2-1-0.5µm 结构标样，PTB 认证版，未安装 |
| 618-5A／5B／5C／5D／5E／5F／5K／5L／5M／5O／5P／5Q／5R | 10-5-2-1-0.5µm 结构标样，非认证版，已安装（样品台 A–F、K–R 型） |
| 618-5G | 10-5-2-1-0.5µm 结构标样，非认证版，用户自备样品台（G 型） |
| 618-7A／7B／7C／7D／7E／7F／7K／7L／7M／7O／7P／7Q／7R | 10-5-2-1-0.5µm 结构标样，PTB 认证版，已安装（样品台 A–F、K–R 型） |
| 618-7G | 10-5-2-1-0.5µm 结构标样，PTB 认证版，用户自备样品台（G 型） |
618-4 系列：500-200-100nm 结构
这款先进的 CD 校准测试标样适用于更小结构的校准。500-200-100nm 结构标样包含 3 组线条图案，每组按其间距明确标识。每组图案由 5 条线条与等间距的间隙组成，间距分别为 500nm、200nm 和 100nm。中央区域可用于 AFM 测量。图案刻蚀入硅，深度约 45–50nm，硅表面无镀层。
在部分 CD 校准标样上，100nm 线条可能缺失一根，属正常现象，不影响标样性能。
准确度与均匀性
| 图案尺寸 | 500nm | 200nm | 100nm |
| 准确度 | 0.30% | 0.55% | 0.50% |
| 均匀性 | 0.24% | 0.60% | 1.20% |
产品型号（仅非认证版）
| 618-4 | 500-200-100nm 结构标样，非认证版，未安装 |
| 618-4A／4B／4C／4D／4E／4F／4K／4L／4M／4O／4P／4Q／4R | 500-200-100nm 结构标样，非认证版，已安装（安装座 A–F、K–R 型） |
| 618-4G | 500-200-100nm 结构标样，非认证版，用户自备安装座（G 型），价格面议 |
安装选项
标样可按 A–R 型样品台选配安装。
