PELCO X-Checker SEM-EDS 能谱校准与性能监测标样
PELCO X-Checker® 系列是用于监测扫描电子显微镜（SEM）能量色散 X 射线能谱（EDS）系统性 […]
XCS EDS能谱标样
适用于常规 EDS 工作的标样（含法拉第杯用于束流测量、铜网用于尺寸检查），也有背散射电子探测器、轻元素探测性能、阴极荧光、谱峰去卷积等专用标样及其他性能评价用标样。
关键尺寸（CD）校准测试标样
关键尺寸（CD）校准测试标样（Critical Dimension Calibration Test Specimens）适用于扫描电子显微镜（SEM）/聚焦离子束系统（FIB）的放大倍率校准，也可用于原子力显微镜（AFM）。
MRS-3 SEM多功能标样
MRS-3 扫描电镜放大倍率校准标样是一类用于扫描电子显微镜放大倍率校准与图像畸变检查的计量标样。标样采用高精度直写电子束光刻设备在石英基底上制作抗反射铬图案。
SEM 金颗粒/碳基底分辨率测试标样
金颗粒/碳基底分辨率标样（简称金颗粒分辨率标样）是一类用于扫描电子显微镜（SEM）、场发射扫描电子显微镜（FESEM）以及聚焦离子束系统（FIB）图像性能测试的经典测试标样。
MRS-4 SEM 放大倍率标样
MRS-4 是用于扫描电子显微镜（SEM）倍率校准、图像线性检查和尺寸测量的参考标样，同时集成 X、Y 两方向 […]
AFM、SEM高倍率、高分辨率光栅线宽标样
AFM、SEM高倍率、高分辨率线宽标样，采用精密全息图案作为尺寸参考，具有良好的稳定性和可用性。适中的结构高度便于 AFM 使用，同时在 SEM 二次电子和背散射成像中具有良好的对比度，可用于高分辨率、纳米级尺寸测量的准确校准。适用于 AFM、SEM、Auger 和 FIB。
射击残留物微量物证提取套装
面向扫描电子显微镜（SEM/EDS）检验的射击残留物（GSR）现场采样、封存与送检套装。
将电镜样品台直接作为现场取样载体，减少二次转移和制样环节。
AuSomeSEM、FIB 和 FESEM 分辨率标样
AuSome™ 是一种用于纳米尺度成像与测量的高分辨率测试标样，将分辨率测试与尺寸校准结合于同一标样中。
标样采用尺寸已知且分布均匀的金纳米颗粒，并沉积在平整的硅片基底上，可用于 SEM、FIB 和 FESEM 的高倍率成像性能检查，以及低于 100 nm 尺度的尺寸测量与校准。
SEM 低倍及中等倍率分辨率测试标样
用于扫描电子显微镜（SEM）的低倍及中等倍率成像性能测试。
根据测试目的不同，可选择铝-钨枝晶测试标样或金颗粒像散校正与分辨率标样。
SEM 放大倍率线宽与格珊标样
用于扫描电子显微镜（SEM）放大倍率校准和图像畸变检查的线宽、刻度及格珊类标样。
不同标样具有已知的线宽、周期、刻度或格珊密度，可根据图像中的实际尺寸或周期数量，对 SEM的倍率进行校准，并用于检查成像比例是否准确。
MRS-6 高放大倍率标样
MRS-6 是用于显微成像系统倍率校准的高精度参考标样，同时可用于分辨率测试和图像线性检查。标样采用单晶硅基底，在表面制作约 15 nm 厚的铬（Cr）图形，集成多组不同周期（Pitch）的嵌套方框、三线靶标以及 1 µm 周期测试图形。
Planotec-B 枪击残留物自动 SEM/EDS 颗粒分析测试标样
Planotec-B 是专为自动扫描电子显微镜 / 能谱（SEM/EDS）枪击残留物（GSR）颗粒分析系统设计的综合测试标样。
标样将精密几何图案、尺寸测量结构以及含铅（Pb）、锑（Sb）和钡（Ba）的合成 GSR 颗粒集成于8 × 8 mm 玻璃碳基片上，可用于图像、载物台运动、坐标校准、扫描拼接以及 EDS 和颗粒分类等多项测试。
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