电子光学系统要获得高亮度、纳米级聚焦电子束，尖端阴极是核心部件。早年商用系统里，室温场发射阴极用得最多。过去二三十年间，多款高温尖端阴极慢慢具备了商用价值，成了性能更优的电子源选择。

电子光学系统要获得高亮度、纳米级聚焦电子束，尖端阴极是核心部件。早年商用系统里，室温场发射阴极用得最多。过去二三十年间，多款高温尖端阴极慢慢具备了商用价值，成了性能更优的电子源选择。

 Xe PFIB 铣削技术，旨在通过更高的铣削速度简化制备流程，同时建立原位透明度检测方法，拓展软X射线透明样品的适用材料范围。

在纳米科技领域，SEM 是低维纳米材料研发核心表征工具，但传统 LV-SEM 面对核壳、异质结等精细结构有一定局限，超低电压SEM（VLV-SEM）恰好填补空白。

为什么非弹性散射值得我们关注？因为这类散射过程产生了多种信号，每种信号都能提供比弹性电子更丰富的样品化学信息。除了能量损失电子本身，最重要的信号包括特征X射线、二次电子，以及偶尔出现的可见光（阴极荧光，CL）。

弹性散射电子是TEM图像衬度的主要来源，同时也产生衍射图样(DPs)的大部分强度，因此理解控制这一过程的因素至关重要。我们将首先考察来自单个孤立原子的弹性散射，然后探讨样品中多个原子协同产生的弹性散射现象。

电子是低质量、带负电荷的粒子，经过其他电子或原子核附近时易被库仑相互作用偏转。这种静电作用引起的散射是TEM的基础。

电子兼具粒子性和波动性。波动性产生衍射效应，对TEM同样重要。没有电子散射，就无法生成TEM图像、衍射花样或光谱数据。因此，理解电子散射的粒子和波动方法是解释TEM信息的关键。

我们将以 TEM 的历史发展作为开篇，因为这段发展历程与”为什么选择TEM进行材料表征”的诸多理由密切相关。随着仪器技术的持续进步，采用TEM的科学依据也在不断增强。

FIB诱导沉积（FIBID）是以气体前驱体为原料的自下而上原型制造方法。其原理是利用离子束辐照选择性分解吸附在基底表面的前驱体分子，使其生成挥发性与非挥发性产物；前者由真空系统抽走，后者在目标区域沉积，从而直接“书写”纳米结构。