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提高电镜样品溅射镀膜薄膜分辨率的优化策略

在高分辨率电子显微镜(SEM/TEM)的样品制备中,溅射镀膜技术因其高效性和均匀性被广泛应用。然而,薄膜的微观结构(如晶粒尺寸、连续性)直接影响成像分辨率。如何通过优化溅射参数获得更精细的导电薄膜?本文基于实验研究与实际经验,系统总结以下关键策略。 一、材料选择:从铂到合金的平衡 溅射靶材的物理性质直接决定薄膜的细腻程度。实验表明: 铂(Pt):在相同电压(700 V)、电流(25 mA)和时间(3分钟)下,铂薄膜的晶粒尺寸最小,导电连续性最优,是高分辨率成像的首选。 金-钯合金(60% Au/40%...

如何为SEM样品镀膜选择合适的靶材

镀膜仪用于在样品表面沉积导电镀层,这个镀层可以减少荷电效应、减小热损伤、提高二次电子产率,从而改善SEM成像效果。 如果您有购买靶材的需要,可以到我们的淘宝店进行购买https://jy-scientific.taobao.com/ 哪些样品需要在电镜观察前镀膜? 离子溅射仪镀膜的样品适用于以下两种情况: 对电子束敏感的样品:电子束敏感样品(如生物样品)的表面在高能电子束的照射下可能会发生老化,因此需要在样品表面覆盖一层薄膜保护样品。...
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