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提升磁控溅射靶材利用率的实用方法

1. 优化靶材-样品距离 靶材与样品之间的距离对沉积速率和材料利用效率有显著影响。适当缩短该距离可以在保持镀膜层均匀性的前提下,提高材料沉积在样品上的比例,减少在设备内壁或腔体表面的无效沉积。此外,缩短路径也减少了等离子体中的粒子散射,从而提高沉积效率。 2. 控制膜层厚度 不同应用场景对膜层厚度的要求存在差异。例如,在电子显微镜样品制备中,镀膜主要用于消除电荷积累,过厚的膜反而造成图像细节丢失。通过合理设定膜厚,仅满足实际需求,可有效延长靶材寿命。搭配厚度测控仪使用,可以对沉积过程进行实时控制,实现材料精细管理。 3....

离子溅射仪的常见问题和故障排除

没有镀膜或镀膜很薄: 检查氩气传输管线和压力。 确认靶材安装正确且未耗尽。 确保靶材的电气连接良好。 检查真空室的真空度。 镀膜不均匀: 确保样品旋转和/或倾斜功能正常。 检查靶材到样品的距离。 确认样品表面清洁无污染物。 样品过热: 降低溅射功率(电流或电压)。 缩短溅射时间。 确保磁控溅射头中的磁体功能正常(如果适用)。 镀膜后图像质量差(如仍存在充电现象): 稍微增加镀膜厚度。 使用导电胶带或胶水确保样品与样品台之间的良好电气接触。 考虑使用导电性更高的其他镀膜材料。 靶材不溅射: 检查溅射头的高压电源。 确保真空度合适。...

离子溅射仪镀膜后样品还有伪影的避免方法

离子溅射仪镀膜过的样品为什么会有一些出现一些伪影,影响最终的SEM图像质量呢。一般来说有以下几点。 充电伪影: 镀膜厚度不足或镀膜不连续会导致电荷在SEM成像过程中积累,产生图像变形、亮点和扫描光栅偏移。避免方法: 确保足够的镀膜厚度和连续性。使用导电的样品固定介质(如导电胶带、银胶)有效地将样品接地。 颗粒感/粗糙度: 镀膜材料本身的晶粒结构在高放大倍数下可能会变得可见,从而掩盖样品的精细特征。避免方法: 对于高分辨率应用,选择晶粒尺寸更小的镀膜材料(如铂、铱)。 过热/电子束损伤:...

透射电镜样品制备技术指南:材料科学篇

作者:孙千 本文转载自公众号:老千和他的朋友们。原文地址:https://mp.weixin.qq.com/s/oLe7r8QTg6ZK8FZ09zhk_g 使用透射电镜(TEM)的第一步是样品制备,这步骤是确保获得有价值TEM结果的重中之重。制备的TEM样品一般需满足以下几个基本要求: 1. 保持样品的原始结构:尽量减少人工痕迹,即使引入也必须可识别;2. 尽可能薄:样品厚度至少需小于100纳米,确保电子束能够穿透;3. 具备物理支撑:以利于样品架的装载和取出;4. 具备机械稳定性:避免因震动导致图像缺陷;5....

扫描电镜制样低温磁控溅射镀金膜的细晶粒特性研究

1. 引言 在扫描电子显微镜(SEM)分析中,为了获得高质量的图像,对非导电样品进行导电镀膜处理至关重要。这一步骤能够有效地防止样品表面电荷积聚,从而避免图像失真和伪影的产生。同时,导电镀膜还能减少电子束对样品的损伤,并提高二次电子的发射效率,最终提升图像的对比度和分辨率 1。金(Au)因其优异的导电性、良好的化学稳定性以及相对较高的二次电子产率,常被选作SEM样品制备的镀膜材料 1。...

如何制备透射电镜(80-120kV)生物样品?

作者:孙千 本文转载自公众号:老千和他的朋友们。原文地址:https://mp.weixin.qq.com/s/oLe7r8QTg6ZK8FZ09zhk_g 与干燥和浓缩的材料样品不同,大多数生物样品都是含水的或水合的,含有大量的水分。它们质地柔软,由H、C、N、O、S和P等轻元素组成,且不具有导电性。因此,生物样品的制备需要多个步骤才能获得TEM样品。生物样品通常包括颗粒样品以及细胞和组织样品。 1、颗粒样品 如果样品是含有颗粒或纤维的液体溶液,可以在室温下通过负染色法制备,或在低温下通过快速冷冻法制备。...
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