无论是实验室通用型还是用于集成电路结构和尺寸测量的专用设备，SEM的基本工作原理基本一致。SEM之所以得名，是因为它利用细聚焦的电子束，以精确的光栅扫描模式（通常为矩形或正方形）逐点扫描样品表面。

SEM的电子束来自电子源，通常在0.2千伏到30千伏的加速电压下运行。在半导体生产中，CD-SEM多在0.4千伏至1千伏的电压范围内工作。电子束沿镜筒向下，通过一个或多个电子光学聚光镜被缩小，其直径从几微米逐渐收缩到纳米量级。

作者：孙千 本文转载自公众号：老千和他的朋友们。原文地址：https://mp.weixin.qq.com/s/tp4Kp5kogCBN43bjx7JT0A 四维扫描透射电镜（4D-STEM）是一种通过聚焦电子束在电子透明样品上扫描，同时收集实空间和倒易空间的二维图像的技术。这种方法产生四维数据集，因此得名4D-STEM。 需要明确的是，这里的维度并不涉及时间；而是指所得四维数据集包含空间和衍射信息。具体来说，两个维度代表样品中的x和y坐标（实空间位置），而另外两个维度代表每个位置处的衍射图案中的kx和ky坐标（倒易空间）。...

扫描电镜(SEM)自问世以来，已成为材料科学、生物学等领域不可或缺的研究工具。然而，常规扫描电镜(CSEM)在样品制备及成像方面存在明显局限：需要高真空环境、样品必须导电或经过导电处理（低电压成像可不镀导电膜），且必须处于干燥状态。这些限制极大地约束了其在某些领域的应用潜力，特别是对于湿态样品或绝缘材料的研究。

环境扫描电镜(ESEM)技术的出现，为克服这些限制提供了新的解决方案。

TEM样品制备技术对比

扫描电子显微镜（SEM）的分辨率是其核心性能参数之一，传统定义是指能够区分两个相邻物体的最小距离，但该定义在实际场景中较为模糊，不同仪器制造商甚至采用不同的计算标准。这一概念可能指成像或空间分辨率，通常用来衡量样品细节的清晰度，例如微小间隙的分辨能力或图像的锐利程度——这与样品边缘信号转换的变化率密切相关。同时，它也可能指测量分辨率，即定量区分样品特征或测量特性的能力，强调测量精度/重复性。